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文檔簡介
1、平板顯示新平板顯示新進展進展技術的不斷成熟,液晶顯示器已經基本普及,價格對于普通消費者來說也可以接受,即便如三星、華碩、LG等廠商生產的科技含量較高的中高端液晶顯示器的價格也并非“高不可攀“。LCD技術的飛速發(fā)展,諸多弊端取得了長足的進步,LCD顯示器已經開始取代CRT成為人們日常生活中最主要的顯示設備。下面我們就詳細談談液晶顯示的兩個最引人注目的發(fā)展方向低溫多晶硅:LCD的明日之星早在1999年,低溫多晶硅LCD便已經問世,因此它談不
2、上是什么新技術。但由于種種原因,低溫多晶硅技術發(fā)展緩慢,甚至長時間停留在口頭上,直到近期該領域出現突破性進展之后才開始被外界重新注意。低溫多晶硅的全稱是“LowTemperaturePolySilicon”,它是多晶硅技術的一個分支。對LCD顯示器來說,采用多晶硅液晶材料有許多優(yōu)點,如薄膜電路可以做得更薄更小、功耗更低等等。但在多晶硅技術發(fā)展的初期,為了將玻璃基板從非晶硅結構(aSi)轉變?yōu)槎嗑Ч杞Y構,就必須借助一道激光退火(Laser
3、Anneal)的高溫氧化工序,此時玻璃基板的溫度將超過攝氏1000度。眾所周知,普通玻璃在此高溫下就會軟化熔融,根本無法正常使用,而只有石英玻璃才能夠經受這樣的高溫處理。而石英玻璃不僅價格昂貴且尺寸都較小,無法作為顯示器的面板,廠商很自然選擇了廉價的非晶硅材料(aSi),這也是我們今天所見到的情形。不過,業(yè)界并沒有因此放棄努力,發(fā)展低溫多晶硅技術成為共識,在經過多年的努力之后,低溫多晶硅終于逐步走入現實。與傳統的高溫多晶硅相比,低溫多晶
4、硅雖然也需要激光照射工序,但它采用的是準分子激光作為熱源,激光經過透射系統后,會產生能量均勻分布的激光束并被投射于非晶硅結構的玻璃基板上,當非晶硅結構的玻璃基板吸收準分子激光的能量后,就會轉變成為多晶硅結構。由于整個處理過程是在攝氏500600度以下完成,普通的玻璃基板也可承受,這就大大降低了制造成本,將多晶硅技術引入LCD顯示器領域也就完全可行。而除了制造成本降低外,低溫多晶硅技術的優(yōu)點還體現在以下幾個方面。傳統的非晶硅材料LCD,電
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