基于環(huán)境振動的光柵刻劃機隔振平臺的動力學研究.pdf

1、光柵刻劃機的結構復雜，對工作環(huán)境要求嚴格，對各種環(huán)境振動因素的敏感度較高，很微小的振動也會對加工精度造成巨大的影響，因此隔絕這種有害的振動特別重要;本文研究了在各種環(huán)境振動因素下，光柵刻劃機的微振動隔振平臺的動力學問題，并且構建了隔振平臺的固連式結構模型，對光柵刻劃機的微振動隔振平臺進行了動力學分析。
　　(1)分析影響光柵刻劃機隔振平臺的環(huán)境微振動因素，對微振動的特點進行討論，提出環(huán)境振動因素下隔振平臺的模型。
　　(2)

2、介紹了一些環(huán)境振動隔振技術，對比了三種主要的隔振技術優(yōu)缺點，以及各種隔振技術的設備等;根據(jù)光柵刻劃機的隔振平臺結構，將結構進行簡化處理，建立了微振動隔振平臺被動隔振的離散化模型，在此基礎上，對比了兩種微振動隔振平臺結構，即分散結構和固連結構模型，根據(jù)輸入的激勵得到的響應，確定固連結構可以達到有效的減振。
　　(3)在環(huán)境振動和被動隔振技術下，對等效的單質(zhì)點雙層隔振平臺模型進行了振動分析，得知微振動隔振平臺僅僅采用被動隔振裝置，遠遠

3、達不到設備所需的精度條件，因此提出了采用主被動隔振相互結合的混合隔振機制的固連結構式的微振動隔振平臺。
　　(4)基于Udwadia-Kalaba理論對光柵刻劃機隔振平臺進行動力學研究，在環(huán)境振動和混合隔振技術基礎上，建立微振動隔振平臺離散化模型，其單質(zhì)點為雙層隔振模型，最終提出了一種基于系統(tǒng)約束的U-K理論，建立了微振動隔振平臺的數(shù)學模型，并通過MATLAB仿真得到其主動隔振的控制力。
　　本文分析了影響微振動平臺的環(huán)境因