版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內容提供方,若內容存在侵權,請進行舉報或認領
文檔簡介
1、密級:公開研究生學位論文磁控濺射氣體凝聚團簇源及聚焦小尺寸納米顆論文題目(中文)??諝鈩恿W透鏡研究TheStudyofMagronSputteringGas論文題目(夕卜文)AggregationClusterSourceAerodynamicLens研究生姓名學科、專業(yè)研究方向學位級別導師姓名、職稱論文工作起止年月論文提交日期論文答辯日期學位授予日期SystemfFocusingSmallNanoparticles張連華物理學?粒子
2、物理與原子核物理粒子束與物質相互作用博士陳熙萌教授2012年09月至2017年06月2017年06月2017年06月校址:甘肅省蘭州市磁控濺射氣體凝聚團簇源及聚焦小尺寸納米顆??諝鈩恿W透鏡研究中文摘要納米實驗裝置在核物理,原子分子物理,生物物理等領域有重要的應用。磁控濺射團簇源和空氣動力學透鏡是隨著納米技術的發(fā)展而產生的實驗裝置。本人是蘭州大學和德國弗萊堡大學聯(lián)合培養(yǎng)的博士研宄生,在利用德國弗萊堡大學磁控濺射團簇源進行相關研宄過程中,
3、發(fā)現(xiàn)該裝置存在一些不足。基于此,本論文進行了相關模擬研宄,核心內容是磁控濺射團簇源的理論研宄以及空氣動力學透鏡的設計與評估。主要研宄的內容如下:1.利用計算流體動力學(CFD)方法,研宄磁控濺射管中入射氣流方向對團簇軌跡的影響。結果表明布朗運動嚴重干擾粒子在磁控濺射管的運動,角度為90時,團簇的通過率最大,團簇的通過率隨著粒子尺寸的增大而增大。2.利用CFD方法模擬團簇在冷凝腔的軌跡。粒子所受之力為氣體的阻力和布朗力。在軸對稱結構中,氦
4、氣被認定為穩(wěn)定的單向流體,用此可以模擬渦流對團簇軌跡的影響。模擬結果顯示在氦氣中,布朗運動嚴重影響了直徑小于50nm的粒子的通過率,渦流增加了粒子沉積到腔內壁的概率。為此,我們完善了團簇源的結構,增加了一個緩沖區(qū),模擬了緩沖區(qū)對團簇源的作用,結果表明,修正后的團簇源性能明顯提高。3.利用CFD方法模擬噴嘴形狀的作用。模擬結果顯示噴嘴的形狀對團簇的通過率和束流寬度影響。4.設計了一套用來聚焦直徑小于10nm的納米粒子的空氣動力學透鏡。從模
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網頁內容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
評論
0/150
提交評論