具有細(xì)胞計(jì)數(shù)功能的光微流控芯片制備工藝研究.pdf

1、光微流控芯片是依靠光實(shí)現(xiàn)對(duì)微流體內(nèi)粒子的檢測(cè)，其設(shè)計(jì)和制作的關(guān)鍵是在微管道網(wǎng)絡(luò)上集成平面光波導(dǎo)或者平面透鏡，將探測(cè)光信號(hào)傳輸?shù)较鄳?yīng)的區(qū)域。本文采用SU-8 作為波導(dǎo)芯層材料制作了光波導(dǎo)，對(duì)準(zhǔn)分布在微管道兩側(cè)。制作了U型槽作為標(biāo)準(zhǔn)單模光纖的限位機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了光纖與平面光波導(dǎo)的精確對(duì)準(zhǔn)。最后采用粘接鍵合封合微管道，完成了光微流控芯片樣片的制作。本文的主要內(nèi)容包括：
　　 1. 設(shè)計(jì)了一種光微流控芯片，用于血細(xì)胞計(jì)數(shù)。主要包括液體通道的

2、設(shè)計(jì)和光路的設(shè)計(jì)。其中液體微通道結(jié)構(gòu)通過(guò)Fluent 軟件進(jìn)行仿真和優(yōu)化。
　　 2.分別采用玻璃和SU-8 制作了開(kāi)放式微管道結(jié)構(gòu)，分析了各自制作工藝中常見(jiàn)的缺陷，對(duì)比了兩種基底材料制作微管道的質(zhì)量，討論了兩種材料制作階梯槽的工藝可行性。
　　 3.在開(kāi)放式微管道基礎(chǔ)上制作了平面光波導(dǎo)。波導(dǎo)芯層材料為光學(xué)性能優(yōu)異的SU-8 光刻膠。設(shè)計(jì)并制作階梯槽實(shí)現(xiàn)了波導(dǎo)與光纖的對(duì)接。采用SU-8 作為基底材料，通過(guò)兩次曝光、一次顯