微流控分析芯片的制作及流控特性研究.pdf

1、本文在介紹了微流控分析芯片的概念、優(yōu)點(diǎn)及局限性，綜述了其研究意義、國(guó)內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀，并預(yù)測(cè)了發(fā)展前景的基礎(chǔ)上，主要完成了以下工作： (1)從工藝角度詳細(xì)介紹了玻璃微流控分析芯片的制作技術(shù)，包括材料的選擇、微結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)、標(biāo)準(zhǔn)光刻、化學(xué)濕法刻蝕以及最終的鍵合。重點(diǎn)通過(guò)實(shí)驗(yàn)比較分析了影響刻蝕結(jié)果的幾個(gè)主要因素，優(yōu)化了刻蝕條件，引入了兩種低溫/室溫鍵合技術(shù)；初步完成了玻璃微流控分析芯片的普通實(shí)驗(yàn)室制作工藝摸索。 (2)介紹了微流控

2、分析芯片中微流體的動(dòng)電驅(qū)動(dòng)理論，通過(guò)對(duì)雙電層、電滲流等理論的分析，建立了微流體的二維動(dòng)電驅(qū)動(dòng)數(shù)學(xué)模型，并且推導(dǎo)出了Poisson-Boltzmann方程和Navier-Stokes方程的穩(wěn)態(tài)解析解；結(jié)合使用計(jì)算機(jī)仿真軟件Matlab對(duì)電滲勢(shì)場(chǎng)、近壁電滲勢(shì)場(chǎng)、電滲流流速、體積流量及壁面上的剪切應(yīng)力進(jìn)行了模擬仿真，分析了以上各研究對(duì)象分別與離子能量參數(shù)α、變量β的關(guān)系，驗(yàn)證了動(dòng)電驅(qū)動(dòng)理論的正確性。 (3)使用自制的玻璃微流控分析芯片