溶膠—凝膠法制備Fe摻雜納米ZnO薄膜及表征.pdf

1、自20世紀(jì)70年代以來(lái)，薄膜技術(shù)得到了突飛猛進(jìn)的發(fā)展，其應(yīng)用涉及到電子、計(jì)算機(jī)、磁記錄、信息、化工、生物等各個(gè)學(xué)科領(lǐng)域，現(xiàn)已成為當(dāng)代真空技術(shù)和材料科學(xué)中最活躍的研究領(lǐng)域。ZnO半導(dǎo)體薄膜材料中摻入3d磁性過渡族金屬離子或稀土金屬離子，使其部分地替代非磁性的Zn2+陽(yáng)離子，利用載流子控制技術(shù)可使其成為稀釋磁性半導(dǎo)體新型功能材料。目前，摻雜ZnO稀釋磁性半導(dǎo)體材料的研究在國(guó)外已受到高度關(guān)注，而此項(xiàng)研究在國(guó)內(nèi)則尚處于初始階段，其研究對(duì)于發(fā)展稀

2、釋磁性半導(dǎo)體材料及其應(yīng)用具有重要意義。 本研究以典型的具有3d電子結(jié)構(gòu)的磁性鐵離子作為摻入組分，采用溶膠—凝膠法，以玻璃片為基底制備Fe摻雜納米ZnO薄膜，具體的制備工藝為以二水合乙酸鋅、乙二醇甲醚、乙醇胺、冰乙酸、四水合氯化亞鐵為主要原料制備成溶膠，凝膠，再經(jīng)鍍膜、焙燒成薄膜；研究探討了溶劑、粘度、酸度(pH)對(duì)制備Fe摻雜納米ZnO薄膜所需溶膠的均勻性和穩(wěn)定性的影響，實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)溶膠粘度是影響鍍膜工藝的一個(gè)重要因素；運(yùn)用X射線衍