用溶膠-凝膠法制備Al原子摻雜的ZnO納米薄膜.pdf

1、本文利用溶膠-凝膠方法在玻璃基片上制備了AZO薄膜，研究了制備過程中工藝條件對(duì)薄膜晶體結(jié)構(gòu)、電學(xué)和光學(xué)性能的影響，并對(duì)AZO薄膜的導(dǎo)電機(jī)制和發(fā)光機(jī)理進(jìn)行了探討。 用X射線衍射儀(XRD)對(duì)樣品的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了表征。結(jié)果表明：所有樣品的衍射譜都具有六角纖鋅礦結(jié)構(gòu)，沒有Al和Al2O3的相存在，表明Al原子對(duì)Zn原子的有效替位，且(002)面具有明顯的c軸擇優(yōu)生長(zhǎng)的趨勢(shì)。預(yù)處理溫度對(duì)ZnO薄膜的c軸擇優(yōu)取向影響很大，本實(shí)驗(yàn)得到最佳預(yù)處理

2、溫度為400℃。此外還分析了摻雜濃度、退火溫度對(duì)薄膜c軸取向的影響。 用四探針測(cè)試儀、紫外-可見分光分度計(jì)、熒光分光分度計(jì)對(duì)薄膜的光電特性進(jìn)行了測(cè)試，得到以下結(jié)論： (1)在熱分解溫度400℃、退火溫度550℃，摻雜濃度1％和鍍膜層數(shù)12層的條件下，AZO薄膜的電阻率最低為5.2×10-3 Ω·cm。 (2)可見光范圍內(nèi)，AZO薄膜的透過率較高，一般在85％左右。摻雜濃度、預(yù)處理溫度和退火溫度對(duì)薄膜的透過率影響不