版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、分類號(hào):TB34UDC:6603常數(shù)編號(hào)溶膠一凝膠法制備PZT薄膜的研究THEST[1DY0FTHESoLGELPREPARATIoNoFPZTTHINFILM學(xué)位授予單位及代碼:量蠶型工盔芏(【‘!!g!!學(xué)科專業(yè)名稱及代碼:絲趕芏(Q艘i鯉2研究萬同:疊鹽自&撾魁申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:亟指導(dǎo)教師:圭墮鲞副塾攫研究生:韭雪堡論文起止時(shí)陽J:!Q業(yè):!!二:Q』Q:12摘要鋯鈦酸鉛(PZT)薄膜材料因其具有良好的熱釋電、睚電,鐵屯及光電等特性,
2、在微電子學(xué)、光電子技術(shù)和微電子機(jī)械系統(tǒng)等高科披領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景,已經(jīng)受到人們廣泛關(guān)注和重視。本文采用溶膠一凝膠法制各均勻致密的鋯鈦酸鉛(PZT)薄膜研究了在制備鋯鈦酸鉛薄膜過程中溶膠濃度、pH值、水含量及添加劑含量等主要工藝參數(shù)對(duì)PZT薄膜結(jié)構(gòu)和表面形貌的影響。本文在制備PZT潛麒的研究中,首先,為fl;|J番出均勻斂密的薄膜,盡量使得基片的晶格常數(shù)與PZT薄膜材料曲品格常數(shù)相匹配,本文選擇丁三種不同的基片,分別是All03陶瓷基
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 溶膠-凝膠法制備PZT納米點(diǎn)薄膜研究.pdf
- 溶膠凝膠法制備LSMO-PZT復(fù)合薄膜材料及性能研究.pdf
- PZT薄膜的溶膠凝膠法制備及在MEMS中的應(yīng)用研究.pdf
- 溶膠-凝膠法制備PLZT薄膜的研究.pdf
- 溶膠—凝膠法制備ZnO薄膜的特性研究.pdf
- 溶膠-凝膠法制備Si基PZT-LSMO-LNO復(fù)合薄膜及磁電性能研究.pdf
- 溶膠-凝膠法制備ITO薄膜及其性質(zhì)研究.pdf
- 溶膠-凝膠法制備PZT及Mn摻雜PZT-PZN體系壓電陶瓷的研究.pdf
- 溶膠-凝膠法制備ZnO納米薄膜的摻雜研究.pdf
- PLZT薄膜溶膠-凝膠法制備與性能研究.pdf
- 溶膠-凝膠法制備ZnO薄膜及其性能研究.pdf
- 溶膠—凝膠法制備NiO薄膜的光學(xué)特性研究.pdf
- 溶膠—凝膠法制備AZO透明導(dǎo)電薄膜的研究.pdf
- 溶膠-凝膠法制備ZnO薄膜及其發(fā)光特性研究.pdf
- 溶膠-凝膠法制備ITO薄膜及其微細(xì)圖形的研究.pdf
- 溶膠凝膠法制備TAG熒光薄膜及性能研究.pdf
- 溶膠凝膠法制備氧化硅薄膜裂紋形貌研究.pdf
- 鐵電薄膜的溶膠凝膠法制備與結(jié)構(gòu)研究.pdf
- 溶膠—凝膠法制備釔鋇銅氧薄膜的研究.pdf
- ATO導(dǎo)電薄膜的溶膠-凝膠法制備及機(jī)理研究.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論