降冰片烯基193nm光刻技術(shù)用高透明聚合物的合成與性能研究.pdf

1、本文利用含氧氣氛圍熱聚合和可見光聚合方法分別合成了降冰片烯與馬來酸酐共聚物和降冰片烯、馬來酸酐和丙烯酸酯類三元共聚物，并通過紅外、核磁以及GPC等手段對單體及其聚合物的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了表征。同時還對其引發(fā)體系，溶解性和熱穩(wěn)定性進(jìn)行研究，并得到以下結(jié)果： 降冰片烯與馬來酸酐二元和三元共聚物在有機(jī)溶劑中都有很好的溶解性。而降冰片烯二元共聚物的溶解性不如三元共聚物好。 含氧熱聚合中，低含量氧可以促進(jìn)降冰片烯與馬來酸酐二元和三元熱聚合

2、，氧氣對降冰片烯與馬來酸酐的交替率影響不大。利用核磁、熱重手段和苯酚過氧自由基捕捉數(shù)據(jù)分析，氧氣在聚合過程中可以引發(fā)聚合插入到聚合物鏈中得到含過氧鍵共聚物。 可見光聚合中，降冰片烯與馬來酸酐可以引發(fā)劑和自引發(fā)聚合。利用核磁手段，三溴甲烷自由基捕捉和GC-MS測試分析，二苯甲酮和四氫呋喃引發(fā)體系中起到引發(fā)作用的是四氫呋喃。利用紫外手段得到了降冰片烯和馬來酸酐混合物的吸收光譜，降冰片烯與馬來酸酐之間沒有形成電子復(fù)合轉(zhuǎn)移物。