光學(xué)薄膜厚度實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)及其反演的研究.pdf

1、進(jìn)入90年代以后,顯示技術(shù)和光通信技術(shù)的迅猛發(fā)展和逐漸的產(chǎn)業(yè)化,對(duì)于光學(xué)薄膜的發(fā)展起到了很大的促進(jìn)和推動(dòng)作用.人們對(duì)光學(xué)薄膜的性能提出了更高的要求,從而也對(duì)薄膜制造的監(jiān)控精度提出了更嚴(yán)峻的挑戰(zhàn).目前,國(guó)外知名鍍膜機(jī)廠商銷(xiāo)售的都是全自動(dòng)鍍膜機(jī).這類(lèi)鍍膜機(jī)具有很高的監(jiān)控精度,而且完全實(shí)現(xiàn)了監(jiān)控的自動(dòng)化.但是,目前市場(chǎng)上的國(guó)產(chǎn)鍍膜機(jī)均還需要人工進(jìn)行操作,自動(dòng)化程度很低.該課題就是針對(duì)這一情況提出的.該文首先對(duì)薄膜厚度的光學(xué)監(jiān)控法的基本原理進(jìn)行

2、了研究,從理論上分析了該方法的優(yōu)點(diǎn)和不足,針對(duì)其不足討論了相應(yīng)的改善辦法,并提出了探討了提高光學(xué)監(jiān)控法監(jiān)控精度的方法.同時(shí),該文還對(duì)監(jiān)控過(guò)程中膜層參數(shù)的在線反演進(jìn)行了嚴(yán)格的數(shù)學(xué)推導(dǎo).為了更加有效地進(jìn)行反演,濾除監(jiān)控信號(hào)中的噪聲,以及提高極值法的監(jiān)控精度,該文分析了最優(yōu)化方法在這些問(wèn)題上的應(yīng)用.雖然最優(yōu)化方法在實(shí)際監(jiān)控及反演過(guò)程中受到應(yīng)用條件的限制,但是這些分析對(duì)于今后工作的指導(dǎo)是很有意義的.該課題還建立了一套光學(xué)薄膜厚度實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng),可