光學(xué)薄膜反射型彩色濾光片研究.pdf

1、隨著圖像技術(shù)和顯示技術(shù)的發(fā)展，反射型彩色濾光片在圖像傳感、彩色顯示、裝飾、激光方面的應(yīng)用越來(lái)越受到關(guān)注。但現(xiàn)有的反射彩色濾光片結(jié)構(gòu)復(fù)雜、制備困難、成本高，成為其生產(chǎn)和應(yīng)用的瓶頸。本論文提出了一種金屬-介質(zhì)薄膜反射型彩色濾光片結(jié)構(gòu)，利用光學(xué)薄膜理論分析了在可見(jiàn)光區(qū)實(shí)現(xiàn)高反射、寬截止的紅綠藍(lán)三基色濾光的方法，通過(guò)改進(jìn)設(shè)計(jì)和反演參數(shù)優(yōu)化了濾光特性。提出通過(guò)匹配多層介質(zhì)高反射膜的相位實(shí)現(xiàn)多峰反射濾光的方法。本文還研究了金屬-介質(zhì)薄膜結(jié)構(gòu)的彩色濾

2、光片及其陣列的設(shè)計(jì)和工藝，制備了紅綠藍(lán)三基色濾光片及其陣列；制備并測(cè)試了可見(jiàn)光雙峰、三峰反射濾光片。
　　 本文的研究工作主要包括：
　　 1.反射型光學(xué)薄膜彩色濾光片的設(shè)計(jì)與制備。采用誘導(dǎo)反射原理設(shè)計(jì)了一種膜系簡(jiǎn)單、制備容易的金屬-介質(zhì)反射濾光片結(jié)構(gòu)。分析了各膜層對(duì)濾光片性能的影響，反演了極薄金屬薄膜的參數(shù)。實(shí)驗(yàn)獲得的紅綠藍(lán)三色濾光片的反射率>72％、反射帶較寬、色飽和度較高。
　　 2.反射型光學(xué)薄膜彩色濾光