基于交叉?zhèn)鬟f函數(shù)的畸變空間像計(jì)算方法研究.pdf

1、建立快速準(zhǔn)確的空間像模型在計(jì)算光刻領(lǐng)域中占有重要地位，是逆光刻掩模優(yōu)化等逆向求解問題的基礎(chǔ)。為了達(dá)到快速計(jì)算的要求，現(xiàn)有的波像差檢測(cè)技術(shù)或逆光刻技術(shù)通過近似畸變空間像，只提取波像差線性項(xiàng)影響進(jìn)行反演擬合。隨著檢測(cè)精度要求的不斷提高，只考慮波像差對(duì)空間像的線性影響已經(jīng)無法滿足發(fā)展需要，計(jì)算仿真二階或更高階波像差耦合項(xiàng)引入的畸變空間像成為急于解決的問題。因此本學(xué)位論文發(fā)展了基于交叉?zhèn)鬟f函數(shù)的畸變空間像模型，可作為計(jì)算光刻中正向仿真模型，并能

2、夠快速計(jì)算波像差引入的畸變空間像。
　　 基于Hopkins 成像原理建立了交叉?zhèn)鬟f函數(shù)的快速算法，將頻域中復(fù)雜的積分運(yùn)算轉(zhuǎn)化成為空域中的乘積運(yùn)算。采用隔點(diǎn)抽樣平均的方法實(shí)現(xiàn)高分辨率光源下的交叉?zhèn)鬟f函數(shù)計(jì)算。利用MATLAB 計(jì)算軟件的仿真實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了交叉?zhèn)鬟f函數(shù)的可行性。
　　 研究了精確的空間像計(jì)算方法，推導(dǎo)了二元掩模的頻譜計(jì)算方法。利用完整的交叉?zhèn)鬟f函數(shù)，直接得到空間像頻譜表達(dá)，利用矩陣運(yùn)算性質(zhì)計(jì)算空間像光強(qiáng)。

3、>　　 MATLAB 計(jì)算結(jié)果與商業(yè)軟件PROLITH 仿真結(jié)果比較，誤差在10-4 數(shù)量級(jí)，驗(yàn)證了模型正確性和有效性。
　　 引入了三階互相關(guān)的概念，應(yīng)用其數(shù)學(xué)性質(zhì)，發(fā)展了波像差引入的畸變空間像模型?；兛臻g像可以分解為各級(jí)次波像差影響的代數(shù)和，用來快速計(jì)算高階波像差耦合影響。利用畸變空間像的對(duì)稱性質(zhì)，進(jìn)一步簡(jiǎn)化計(jì)算，優(yōu)化算法。MATLAB的模擬仿真，進(jìn)一步驗(yàn)證了波像差引入的畸變空間像的可行性。
　　 波像差引入的畸