干涉儀系統(tǒng)傳遞函數(shù)的新測量方法研究.pdf

1、高功率固體激光裝置中所使用光學(xué)元件的中頻段小尺度制造誤差將嚴(yán)重影響整個光學(xué)系統(tǒng)的性能。目前，光學(xué)元件中頻誤差主要用干涉儀來測量，而評價干涉儀系統(tǒng)本身性能的基本量是系統(tǒng)的傳遞函數(shù)?，F(xiàn)有的干涉儀系統(tǒng)傳遞函數(shù)主要用標(biāo)準(zhǔn)臺階相位比較法測量，此法需要一塊高精度臺階板。
　　首先，根據(jù)干涉儀系統(tǒng)傳遞函數(shù)的測試原理，制定了臺階相位比較法測量干涉儀系統(tǒng)傳遞函數(shù)的實驗方案，編寫計算程序，測試了不同型號干涉儀的系統(tǒng)傳遞函數(shù)。另外分析了實驗過程中不同截

2、取波前大小、調(diào)焦程度和干涉腔的距離對傳遞函數(shù)測量結(jié)果的影響。
　　其次，提出了兩種測量干涉儀系統(tǒng)傳遞函數(shù)的新方法，鍍膜臺階法和條紋法，其中鍍膜臺階法基于臺階相位比較法，創(chuàng)新地提出了運用鍍膜的方法來制作高精度臺階板，此法方便快捷，能克服國內(nèi)制作臺階板技術(shù)的短缺;條紋法則通過調(diào)節(jié)條紋數(shù)量來確定頻率，利用調(diào)制度的比值來表征不同頻率對應(yīng)的傳遞函數(shù)的大小，此法不需要制備臺階板，大大降低了測試成本，尤其適用于計算大口徑干涉儀的系統(tǒng)傳遞函數(shù)。兩