晶圓傳輸真空機(jī)械手示教系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展決定了工業(yè)的繁榮程度。晶圓在半導(dǎo)體行業(yè)中起到了支柱作用，因此得到了愈來(lái)愈多的重視。生產(chǎn)晶圓需要在在真空腔室內(nèi)傳遞，潔凈間的特殊要求以及設(shè)備內(nèi)部的真空構(gòu)造加之高精度的操作，對(duì)機(jī)械手的控制提出了很嚴(yán)格的要求。
　　真空機(jī)械手是一種在真空環(huán)境下工作的機(jī)器人，主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中，實(shí)現(xiàn)晶圓在真空潔凈環(huán)境下的運(yùn)輸。示教盒是晶圓傳輸機(jī)械手控制系統(tǒng)的重要組成部分。操作者通過(guò)示教盒完成對(duì)機(jī)械手下達(dá)運(yùn)動(dòng)指令，獲得機(jī)械手各個(gè)位置信息，

2、危險(xiǎn)情況下急停機(jī)械手等動(dòng)作。
　　傳統(tǒng)的示教盒多采用單片機(jī)或者PLC來(lái)實(shí)現(xiàn)功能，總體來(lái)說(shuō)功能比較單一，操作步驟比較冗雜，人機(jī)界面不夠友好，反應(yīng)速度不夠迅速。本研究將普遍適用于掌上設(shè)備的ARM+Linux方案應(yīng)用于工業(yè)機(jī)器人示教功能，很好的解決了上述問(wèn)題。創(chuàng)新性的設(shè)計(jì)減小了示教盒的體積，豐富了設(shè)備的功能，并且為再次開(kāi)發(fā)和重復(fù)開(kāi)發(fā)提供了良好的條件。隨時(shí)可以根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)需求進(jìn)行調(diào)整，同時(shí)將嵌入式系統(tǒng)的方案應(yīng)用于示教盒的新思路也得到了有效