聚酰亞胺(PI)襯底CIGS薄膜電池新型背電極技術的研究.pdf

1、聚酰亞胺(Polyimide，PI)柔性襯底CIGS薄膜電池因其具有CIGS薄膜電池高轉換效率、成本低以及抗輻射等特點，并且同時具有柔性基底太陽電池的高質功比、可折疊、不怕摔碰、適于roll-to-roll工藝等特點受到世界各國研究機構的關注。2013年，瑞士聯(lián)邦材料科學與技術實驗室(Swiss Federal Laboratories forMaterial Science and Technology, EMPA)制備的柔性聚酰亞胺

2、襯底CIGS薄膜電池效率達到20.4％，是目前柔性襯底上CIGS薄膜太陽電池的世界紀錄。
　　本文主要研究適用于PI襯底CIGS薄膜太陽電池的新型背電極，解決柔性基底上薄膜應力過大的難題，減少后續(xù)工藝的復雜度，利于柔性太陽電池的產(chǎn)業(yè)化。本文在文獻調研和大量實驗的基礎上提出兩種新型背電極結構，考察了兩種結構下背電極的電學、光學、應力、高溫穩(wěn)定性等特性，并且研究了新型背電極異于傳統(tǒng)背電極的特性對CIGS薄膜結構、形貌以及電池器件性能的

3、影響。
　　由于PI材料與Mo薄膜之間熱膨脹系數(shù)的失配，傳統(tǒng)背電極工藝的雙層Mo薄膜殘余應力比較大，PI/Mo非常卷曲，薄膜表面出現(xiàn)明顯裂痕。針對這一問題，提出了Mo/Ag/Traditional BC（傳統(tǒng)背接觸）結構與Processl制備工藝，該工藝中電極底層采用高阻Mo層用來提高基底與電極的附著力，中間層采用超薄Ag層用來平衡復合電極結構的整體應力，頂層依然采用傳統(tǒng)電極的雙層Mo結構，復合結構背電極能夠有效減小薄膜應力，并且

4、提高了新型電極的電學、光學特性，提高了CIGS薄膜電池的光譜響應。
　　針對Processl工藝中電極成本高、工序復雜等缺點，在原有實驗的基礎上提出了Mo/Ag/Mo結構并探索出Process2工藝，制備的背電極表面形貌更加致密，與Processl工藝相比，薄膜應力進一步降低，并在保持電學特性不變的情況下，降低了背電極的厚度，在后續(xù)工藝中證實該背電極未影響到CIGS薄膜的結構及形貌，也未檢測到大量Ag元素擴散至CIGS薄膜中。背電