2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、貴州大學(xué)2015屆碩士研究生學(xué)位論文基于基于βFeSi2的光傳感器的制備及性質(zhì)研究的光傳感器的制備及性質(zhì)研究學(xué)科專業(yè):微電子學(xué)與固體電子學(xué)研究方向:固體電子材料與器件導(dǎo)師:張晉敏教授研究生:胡維前中國﹒貴州﹒貴陽2015年5月分類號:TB34TB303論文編號:2012021045密級:公開目錄目錄目錄....................................................................

2、...................................................................................................................2摘要......................................................................................................

3、.................................................................................1Abstract..................................................................................................................................

4、................................................2第一章緒論......................................................................................................................................................................

5、...31.1研究意義.................................................................................................................................................................31.2βFeSi2薄膜材料的基本特性.............................

6、...................................................................................................31.2.1βFeSi2薄膜材料的晶體結(jié)構(gòu)特性..................................................................................................

7、..........31.2.2βFeSi2薄膜材料的光學(xué)及電學(xué)性質(zhì)........................................................................................................41.3βFeSi2薄膜的制備方法.................................................................

8、.......................................................................61.4光電效應(yīng).............................................................................................................................................

9、...................71.4.1外光電效應(yīng)..................................................................................................................................................81.4.2內(nèi)光電效應(yīng).................................

10、.................................................................................................................81.4.3PN結(jié)的能帶原理.............................................................................................

11、...........................................91.4.4PN結(jié)光伏效應(yīng)的光電轉(zhuǎn)換機(jī)制.............................................................................................................101.4.5光傳感器.....................................

12、...............................................................................................................111.4.6光電池...................................................................................................

13、.....................................................131.5βFeSi2薄膜及光傳感器的研究現(xiàn)狀..................................................................................................................131.6本文的主要研究工作................

14、...........................................................................................................................15第二章樣品的制備與表征方法..................................................................................

15、...................................................162.1樣品的制備...........................................................................................................................................................162.

16、1.1制膜的設(shè)備和原理....................................................................................................................................162.1.2襯底和靶材的選取和預(yù)處理..........................................................

17、..........................................................182.1.3樣品的沉積過程........................................................................................................................................182.1.4FeSi結(jié)

18、構(gòu)的高真空退火........................................................................................................................182.2常用的樣品表征方法...............................................................................

19、............................................................192.2.1物相和晶體結(jié)構(gòu)分析方法........................................................................................................................192.2.2樣品表面形貌常用測量方法...

20、.................................................................................................................212.2.3拉曼光譜分析儀.............................................................................................

21、..........................................222.2.4近紅外波段的吸收譜................................................................................................................................232.2.5量子效率.......................

22、.............................................................................................................................242.2.6光譜響應(yīng)度測試裝置...............................................................................

23、.................................................252.3本章小結(jié)...............................................................................................................................................................26第

24、三章βFeSi2nSi異質(zhì)結(jié)的制備工藝........................................................................................................................273.1濺射工藝對βFeSi2薄膜質(zhì)量的影響..........................................................

25、........................................................273.1.1濺射功率對成膜質(zhì)量的影響....................................................................................................................273.1.2濺射氣壓對成膜質(zhì)量的影響..........

26、..........................................................................................................283.1.3濺射氣體流量對成膜質(zhì)量的影響.............................................................................................

27、...............283.2濺射Fe膜厚度對βFeSi2薄膜結(jié)構(gòu)及表面形貌的影響...................................................................................293.2.1濺射Fe膜厚度對βFeSi2薄膜結(jié)構(gòu)的影響...............................................................

28、..............................293.2.2濺射Fe膜厚度對βFeSi2薄膜表面形貌的影響....................................................................................303.2.3βFeSi2薄膜EDS能譜分析......................................................

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