版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、貴州大學(xué)2015屆碩士研究生學(xué)位論文基于基于βFeSi2的光傳感器的制備及性質(zhì)研究的光傳感器的制備及性質(zhì)研究學(xué)科專業(yè):微電子學(xué)與固體電子學(xué)研究方向:固體電子材料與器件導(dǎo)師:張晉敏教授研究生:胡維前中國﹒貴州﹒貴陽2015年5月分類號:TB34TB303論文編號:2012021045密級:公開目錄目錄目錄....................................................................
2、...................................................................................................................2摘要......................................................................................................
3、.................................................................................1Abstract..................................................................................................................................
4、................................................2第一章緒論......................................................................................................................................................................
5、...31.1研究意義.................................................................................................................................................................31.2βFeSi2薄膜材料的基本特性.............................
6、...................................................................................................31.2.1βFeSi2薄膜材料的晶體結(jié)構(gòu)特性..................................................................................................
7、..........31.2.2βFeSi2薄膜材料的光學(xué)及電學(xué)性質(zhì)........................................................................................................41.3βFeSi2薄膜的制備方法.................................................................
8、.......................................................................61.4光電效應(yīng).............................................................................................................................................
9、...................71.4.1外光電效應(yīng)..................................................................................................................................................81.4.2內(nèi)光電效應(yīng).................................
10、.................................................................................................................81.4.3PN結(jié)的能帶原理.............................................................................................
11、...........................................91.4.4PN結(jié)光伏效應(yīng)的光電轉(zhuǎn)換機(jī)制.............................................................................................................101.4.5光傳感器.....................................
12、...............................................................................................................111.4.6光電池...................................................................................................
13、.....................................................131.5βFeSi2薄膜及光傳感器的研究現(xiàn)狀..................................................................................................................131.6本文的主要研究工作................
14、...........................................................................................................................15第二章樣品的制備與表征方法..................................................................................
15、...................................................162.1樣品的制備...........................................................................................................................................................162.
16、1.1制膜的設(shè)備和原理....................................................................................................................................162.1.2襯底和靶材的選取和預(yù)處理..........................................................
17、..........................................................182.1.3樣品的沉積過程........................................................................................................................................182.1.4FeSi結(jié)
18、構(gòu)的高真空退火........................................................................................................................182.2常用的樣品表征方法...............................................................................
19、............................................................192.2.1物相和晶體結(jié)構(gòu)分析方法........................................................................................................................192.2.2樣品表面形貌常用測量方法...
20、.................................................................................................................212.2.3拉曼光譜分析儀.............................................................................................
21、..........................................222.2.4近紅外波段的吸收譜................................................................................................................................232.2.5量子效率.......................
22、.............................................................................................................................242.2.6光譜響應(yīng)度測試裝置...............................................................................
23、.................................................252.3本章小結(jié)...............................................................................................................................................................26第
24、三章βFeSi2nSi異質(zhì)結(jié)的制備工藝........................................................................................................................273.1濺射工藝對βFeSi2薄膜質(zhì)量的影響..........................................................
25、........................................................273.1.1濺射功率對成膜質(zhì)量的影響....................................................................................................................273.1.2濺射氣壓對成膜質(zhì)量的影響..........
26、..........................................................................................................283.1.3濺射氣體流量對成膜質(zhì)量的影響.............................................................................................
27、...............283.2濺射Fe膜厚度對βFeSi2薄膜結(jié)構(gòu)及表面形貌的影響...................................................................................293.2.1濺射Fe膜厚度對βFeSi2薄膜結(jié)構(gòu)的影響...............................................................
28、..............................293.2.2濺射Fe膜厚度對βFeSi2薄膜表面形貌的影響....................................................................................303.2.3βFeSi2薄膜EDS能譜分析......................................................
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 激光燒結(jié)制備β-FeSi2熱電材料的研究.pdf
- β-FeSi2半導(dǎo)體薄膜的制備及性能的研究.pdf
- 濺射法制備β-FeSi2薄膜及其性能的研究.pdf
- 基于β-FeSi2薄膜的太陽能電池研究.pdf
- 脈沖激光沉積(PLD)制備β-FeSi2薄膜及性能研究.pdf
- β-FeSi2半導(dǎo)體薄膜制備及其光電性能研究.pdf
- 在4H-SiC襯底上制備β-FeSi2薄膜的研究.pdf
- 硅基β-FeSi2薄膜材料的制備、結(jié)構(gòu)和光電性能研究.pdf
- β-FeSi2基熱電合金的制備及其組織性能研究.pdf
- 基于AZO薄膜的氣體傳感器的制備及其性質(zhì)研究.pdf
- β-FeSi2型多元非晶合金的設(shè)計及表征.pdf
- 基于環(huán)糊精電化學(xué)傳感器的制備及性質(zhì)研究.pdf
- 自蔓延-熱處理制備熱電材料β-FeSi2及其熱電性能研究.pdf
- 燃燒合成制備FeSi2、NiTi合金粉體及其表征.pdf
- β-FeSi2和ZnO及其復(fù)合陶瓷材料的制備與熱電性能.pdf
- 在Si和4H-SiC襯底上制備β-FeSi2薄膜.pdf
- 元素參雜對自蔓延合成β-FeSi2的影響.pdf
- 基于天然纖維素物質(zhì)的化學(xué)傳感器的制備及性質(zhì)研究.pdf
- 光傳感器和溫度傳感器
- 基于光生物傳感器的納米多孔硅的制備與特性研究.pdf
評論
0/150
提交評論