基于光反饋混合干涉的位移傳感器的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、AthesissubmittedtoZhengzhouUniversityforthedegreeofMasterI897348ResearchofDisplacementSensorBasedonOpticalFeedbackSelfmixingInterferenceByXianpuWuSupervisor：ProfHuiyingYeRadioPhysicsCollegeofInformationEngineeringMay2010

2、摘要摘要隨著光反饋自混合干涉理論的不斷成熟，光反饋自混合干涉效應(yīng)的應(yīng)用研究越來越引起人們的關(guān)注?；诠夥答佔曰旌细缮嫘?yīng)的測量系統(tǒng)具有高精確度和非接觸性等優(yōu)點，故目前已被應(yīng)用到多個測量領(lǐng)域，如：速度測量、位移測量、振動測量、距離測量、形貌測量等。本文主要研究了一種基于光反饋自混合干涉效應(yīng)的位移測量方法，搭建了實驗系統(tǒng)，并對實驗信號進(jìn)行硬件處理，得出了位移量。目前基于光反饋自混合效應(yīng)的位移測量主要有條紋計數(shù)法、相位測量法等，本文研究應(yīng)用散

3、斑測量理論的亮斑追蹤位移測量法，它是一種對具有粗糙面的物體進(jìn)行測量的有效方法。本文對現(xiàn)有散斑測量方法進(jìn)行改進(jìn)，增添了亮斑追蹤、光反饋水平的自動增益控制兩個環(huán)路，使檢測更精確、有效。本文還設(shè)計了位移測量系統(tǒng)的硬件電路部分，包括信號的預(yù)處理、A／D轉(zhuǎn)換、數(shù)字信號處理以及位移量恢復(fù)等硬件電路環(huán)節(jié)。其中A／D轉(zhuǎn)換應(yīng)用了轉(zhuǎn)換芯片AD7262，數(shù)字信號的處理選用基于ARM920T的$3C2440芯片，成功實現(xiàn)了信號脈沖的計數(shù)統(tǒng)計，測得了位移量。關(guān)鍵

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