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文檔簡介
1、化學(xué)鍍鎳/置換鍍金(ENIG)鍍層具有優(yōu)異的耐蝕性及焊接性,廣泛應(yīng)用于微電子領(lǐng)域。然而,鍍金時鍍金液會對鎳基體造成腐蝕,影響鍍層后續(xù)的焊接性能。為此,本文通過添加有機緩蝕劑、選擇適當?shù)倪€原劑,開發(fā)了一種無氰化學(xué)鍍金工藝;并開發(fā)了化學(xué)鍍鎳/化學(xué)鍍鈀/置換鍍金(ENEPIG)工藝,以減輕鍍金時鎳基體的腐蝕,從而減少后續(xù)焊接失效的發(fā)生。主要研究結(jié)果如下:
采用X射線熒光能譜(XRF)、掃描電子顯微鏡(SEM)、X射線衍射儀(XRD)
2、等方法并結(jié)合電化學(xué)測試探討了三種添加劑聚乙烯亞胺( PEI)、苯駢三氮唑(BTA)和六次甲基四胺(HET)對Ni-P基體上置換鍍金沉積過程及鍍層性能的影響。結(jié)果表明:PEI、HET和BTA三種添加劑可以在鍍金層表面發(fā)生吸附;三種添加劑對開路電位有相似的影響;添加劑的加入,改變了金層的微觀形貌,降低了最初的鍍金速率,使金的平均晶粒尺寸減小,但對鍍層的物相組成沒有影響。塔菲爾測試表明:添加劑的存在,提高了鍍層的耐蝕性。綜合對比不同添加劑,發(fā)
3、現(xiàn)BTA具有更好的緩蝕作用。此外,在無氰置換鍍金的基礎(chǔ)上,優(yōu)選BTA作為無氰化學(xué)鍍金液中的添加劑,當BTA濃度為50 mg/L時,鍍金層質(zhì)量較好。
通過對比不同配位劑對化學(xué)鍍金過程中鍍金層及鍍金液性能的影響,優(yōu)選M作為化學(xué)鍍金液中的配位劑。應(yīng)用單因素實驗研究了化學(xué)鍍金液組成及工藝參數(shù)對鍍金層及鍍金液性能的影響,優(yōu)化的化學(xué)鍍金工藝參數(shù)為:亞硫酸金鈉2 g/L;亞硫酸鈉25.2 g/L;硫代硫酸鈉15.8 g/L;配位劑M3 g/
4、L;硫脲2 g/L;溫度80℃;pH=7。同時,通過原位開路電位測試,分析了鍍金液組成及工藝參數(shù)對化學(xué)鍍金沉積過程的作用規(guī)律。此外,綜合采用XRF、SEM、XRD及潤濕角測試等方法并結(jié)合電化學(xué)測試對ENIG、化學(xué)鍍鎳/化學(xué)鍍金(ENEG)及ENEPIG的化學(xué)鍍金沉積過程進行系統(tǒng)研究。發(fā)現(xiàn) ENEG的平衡電位最正,電位到達平衡電位的時間最短;ENEG的鍍金速率最快;三種工藝的鍍金層表面均呈瘤狀,且ENEG的鍍金層相對致密;此外,三種工藝所
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