PET基ITO-LaB6-ITO透明導(dǎo)電薄膜電極的制備及光電性能的研究.pdf

1、LaB6納米材料在紫外和近紅外波段具有特定的選擇性吸收作用，在光學和隔熱材料領(lǐng)域具有巨大的應(yīng)用前景，這一特殊性能使其成為時下研究的熱點。ITO是目前已知的性能最好的隔熱透明材料，在太陽能電池和柔性透明導(dǎo)電薄膜領(lǐng)域，具有極其廣泛的應(yīng)用。本文結(jié)合兩者優(yōu)勢，通過磁控濺射法制備了LaB6與ITO復(fù)合薄膜，對LaB6在柔性透明導(dǎo)電薄膜領(lǐng)域的應(yīng)用進行了初步探索。研究了等離子體預(yù)處理對基底的影響，探索了薄膜的最佳制備時間，并對其組織結(jié)構(gòu)、光學性能以及

2、電學性能的相關(guān)性進行了深入分析。
　　等離子體預(yù)處理結(jié)果表明，PET為最佳的柔性透明基底，當放電電壓為70V，放電電流為0.15A，束流電壓為0.9KV，束流電流為12mA，加速電壓為120V時，隨著預(yù)處理時間的延長，光學性能、潤濕性、表面粗糙度以及表面高度等性能均為先減小后增大，當預(yù)處理時間為60s時，PET基底具有最高的透光率以及最小的表面粗糙度和最優(yōu)的表面潤濕性。
　　通過FESEM、AFM等設(shè)備，研究了薄膜的生長機制

3、，結(jié)果發(fā)現(xiàn)不同薄膜之間的結(jié)合比較緊密，其結(jié)合強度要遠大于薄膜與基底之間的結(jié)合強度。隨著薄膜層數(shù)的增加，表面粗糙度會相應(yīng)增加，但變化幅度較小，而表面高度則有明顯增加。當ITO/LaB6/ITO薄膜的濺射時間分別為6min、8min和6min時，薄膜具有最優(yōu)的微觀組織性能。
　　薄膜的光學性能結(jié)果表明，當薄膜層數(shù)相同時，隨著各層薄膜厚度增加，薄膜透過率降低;當薄膜整體厚度相同時，隨著薄膜層數(shù)的增加，薄膜透過率增加。電學性能表明，隨著薄