柔性ITO透明導(dǎo)電薄膜的研究.pdf

1、透明導(dǎo)電氧化物(TCO)薄膜兼具透明性和導(dǎo)電性兩大特性，能廣泛應(yīng)用于平面顯示器、太陽(yáng)能電池、節(jié)能視窗、透明電磁屏蔽等領(lǐng)域。當(dāng)前，顯示技術(shù)越來(lái)越趨向于柔性化、超薄化，這大大促進(jìn)了人們對(duì)柔性TCO薄膜的研究，其中在低軟化點(diǎn)的柔性襯底上低溫制備優(yōu)質(zhì)的ITO薄膜，已經(jīng)成為國(guó)際上的熱門研究課題。 本文通過(guò)對(duì)柔性ITO薄膜的特性、制備工藝研究，設(shè)計(jì)出并低溫制備出了透光率大于75％、電阻率為8×10<'-5>Ω·cm的SiO<,2>/ITO/

2、Ag/ITO膜系的PET基柔性ITO薄膜。論文取得的成果和創(chuàng)新點(diǎn)主要有： 1．針對(duì)低溫濺射難以生成低電阻率的ITO薄膜這一難題，通過(guò)理論分析和實(shí)驗(yàn)研究，創(chuàng)造性地提出了“在線紫外輻照”提高反應(yīng)氣體氧在低溫下活性的工藝路線，大幅度降低了ITO的電阻率也提高了ITO薄膜在可見(jiàn)光區(qū)透射率，為PET等柔性基底上低溫生長(zhǎng)優(yōu)質(zhì)的TCO薄膜提出了一種十分有效的方法。這一工藝方法有較大的理論指導(dǎo)意義和實(shí)用價(jià)值，在國(guó)內(nèi)外尚未見(jiàn)報(bào)道。 2．針

3、對(duì)有機(jī)襯底在濺射時(shí)容易裂解、放氣大的問(wèn)題，提出了在PET襯底上先鍍覆SiO<,2>阻擋層的結(jié)構(gòu)方案，有效地阻止了有機(jī)裂解物對(duì)ITO薄膜的污染，也阻擋了有機(jī)襯底的放氣，并增強(qiáng)了薄膜的附著力。這為柔性ITO技術(shù)提出了一種新穎的結(jié)構(gòu)。 3．為了進(jìn)一步提高薄膜的電導(dǎo)率，我們根據(jù)薄膜光學(xué)理論并通過(guò)對(duì)納米金屬薄膜特性的研究，設(shè)計(jì)出SiO<,2>/ITO/Ag/ITO的膜系結(jié)構(gòu)，在襯底不加熱的工藝條件下大大提高了薄膜的電導(dǎo)率，同時(shí)，通過(guò)理論計(jì)