直線電機(jī)系統(tǒng)分析與H∞魯棒控制.pdf

1、相對(duì)于傳統(tǒng)旋轉(zhuǎn)電機(jī)系統(tǒng)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)可以提供更高的速度和加速度能力，因此在半導(dǎo)體設(shè)備邦定機(jī)中應(yīng)用已經(jīng)很廣泛。但是，在高加速度狀態(tài)下工作的直線電機(jī)系統(tǒng)受到各種系統(tǒng)不確定性的影響，而且直線電機(jī)本身的推力波動(dòng)也會(huì)影響最終的定位精度。本文分析了直線電機(jī)的力涌現(xiàn)象和系統(tǒng)的不確定性，把力涌現(xiàn)象分為隨位置變化的力涌和根位置無(wú)關(guān)的力涌。本文對(duì)基于位置的力涌進(jìn)行了檢測(cè)和補(bǔ)償，而對(duì)于跟位置無(wú)關(guān)的力涌波動(dòng)，則需要用魯棒控制器進(jìn)行抑制。之后，對(duì)含有力涌補(bǔ)償

2、回路的系統(tǒng)進(jìn)行辨識(shí)，由于直線電機(jī)系統(tǒng)不會(huì)由于信號(hào)的沖擊而受到破壞，所以在辨識(shí)過(guò)程中采用偽隨機(jī)序列作為理想的辨識(shí)輸入信號(hào)，得到5階系統(tǒng)模型來(lái)顯現(xiàn)系統(tǒng)不確定因素。根據(jù)此高階模型，使用H∞合成優(yōu)化技術(shù)設(shè)計(jì)了能夠容忍各種機(jī)械不確定性和電機(jī)制造不確定性的內(nèi)環(huán)速度環(huán)魯棒控制器，外環(huán)位置環(huán)控制器則采用PI控制器+前饋的方案來(lái)保證定位精度。仿真和實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明該系統(tǒng)可以獲得高速高精度的響應(yīng)性能，從而滿足半導(dǎo)體設(shè)備的需要。在結(jié)論中，總結(jié)了本人的一些關(guān)于直線