白光干涉術(shù)的測量系統(tǒng)與處理算法的研究.pdf

1、超精密加工與半導體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展對微納米測量技術(shù)也提出了更高的要求。傳統(tǒng)的接觸式測頭測量效率較低，對越來越復雜的表面形貌結(jié)構(gòu)難以探測且容易劃傷表面。本文以白光干涉術(shù)為基本原理，設(shè)計完成一整套白光干涉測量儀并對系統(tǒng)進行了性能測試及溯源性分析。具體工作總結(jié)如下：
　　1.設(shè)計并搭建了白光干涉系統(tǒng)，其中包括機械支撐結(jié)構(gòu)、光學干涉模塊、圖像采集模塊、運動驅(qū)動等。編寫了實驗測試上位機軟件，完善了人機交互軟件。
　　2.對白光干涉術(shù)的算

2、法進行了研究。本文研究了時域算法，包括插值法、重心法；頻域算法，包括傅立葉算法、空間頻域法以及白光相移算法。并對各種算法給出了詳細的理論推導，得出每種算法的優(yōu)缺點和適用特點。
　　3.對測量系統(tǒng)的測量性能及精確度進行了評估，實驗說明該系統(tǒng)具有較好的測量重復性和穩(wěn)定性。與納米測量機進行了比對實驗，針對比對實驗進行了評估，并通過納米標準物質(zhì)，納米標準臺階樣板，完成了對該系統(tǒng)測量的溯源性分析。
　　4.針對大尺寸高臺階的樣品，提出