白光顯微干涉表面形貌三維測(cè)量系統(tǒng)的研究.pdf

1、隨著科學(xué)研究和先進(jìn)制造技術(shù)的發(fā)展,滿(mǎn)足各種不同功能需求的多樣化表面不斷出現(xiàn),從統(tǒng)計(jì)性形貌特征表面發(fā)展到結(jié)構(gòu)性表面,從簡(jiǎn)單幾何表面發(fā)展到自由曲面,從微米精度發(fā)展到納米精度要求。這些發(fā)展對(duì)表面形貌測(cè)量技術(shù)提出了越來(lái)越高的新的要求。本文采用白光干涉技術(shù)和相移技術(shù)相結(jié)合的測(cè)量方法,研制出一套白光顯微干涉表面形貌三維測(cè)量系統(tǒng),適用于臺(tái)階、溝槽等結(jié)構(gòu)性表面三維形貌的測(cè)量。
　　本文采用白光干涉技術(shù)和相移技術(shù)相結(jié)合的測(cè)量方法,研制出一套白光顯微

2、干涉表面形貌三維測(cè)量系統(tǒng)。此系統(tǒng)采用LED白光作為光源,避免了因鹵鎢燈等光源發(fā)熱而影響系統(tǒng)精度;并在系統(tǒng)中采用了光柵位移計(jì)量裝置,對(duì)系統(tǒng)垂直掃描進(jìn)行即時(shí)位移計(jì)量,提高系統(tǒng)測(cè)量精度。在位移計(jì)量裝置基礎(chǔ)上,提出了基于PZT局部區(qū)域線(xiàn)性特征的改進(jìn)性采樣策略。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,新的采樣策略在保證測(cè)量精度的同時(shí),能大幅提高測(cè)量效率。同時(shí),基于VC++平臺(tái),設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)了與白光垂直掃描測(cè)量系統(tǒng)配套的測(cè)量軟件。分析了用于三維形貌恢復(fù)的四種算法:極值法、重心法