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文檔簡介
1、真空紫外波段的應(yīng)用在表面物理研究、宇宙物理、生命科學(xué)、半導(dǎo)體光刻技術(shù)等方面有著極為重要的作用。真空紫外反射薄膜作為重要光學(xué)器件組成部分，應(yīng)用十分廣泛。 本文分析了表面粗糙度對(duì)薄膜反射率的影響，使用原子力顯微鏡（AFM）測(cè)得了薄膜表面圖像，并利用分形法對(duì)該圖像進(jìn)行了計(jì)算，給出了新的薄膜表面粗糙度的評(píng)價(jià)依據(jù)；根據(jù)菲涅爾公式建立單層金屬膜反射率的計(jì)算模型，計(jì)算了最佳反射率設(shè)計(jì)值；利用離子束濺射沉積法制備了一批金反射膜樣片，深入研究了真
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