紅外反射膜的制備研究.pdf

1、本文在討論紅外反射膜的起源及發(fā)展的基礎(chǔ)上，分析并比較了各種紅外反射膜的優(yōu)缺點，從而確定出制備紅外反射膜的基本方案。即利用溶膠-凝膠法制備TiO<,2>和SiO<,2>薄膜，將其分別作為高低折射率膜組合成具有紅外反射作用的介質(zhì)膜系，即為紅外反射膜。利用XRD、SEM和橢圓偏振光譜測試對TiO<,2>和SiO<,2>薄膜進(jìn)行晶體結(jié)構(gòu)、表面形貌、膜層厚度和光學(xué)常數(shù)的檢測分析。 結(jié)果表明：所制備出的TiO<,2>薄膜在500℃熱處理后形

2、成銳鈦礦結(jié)構(gòu)，在700℃熱處理后形成金紅石相結(jié)構(gòu)。晶粒尺寸約為60-100nm，且隨著熱處理溫度的升高而增大，單層薄膜厚度約為50nm。波長大于800nm時，TiO<,2>薄膜的折射率在2.09-2.20左右，消光系數(shù)約為0.026。SiO<,2>薄膜的厚度為456nm左右，折射率在可見光波段約為1.28，并且隨著波長的減小，折射率比較平緩的增大，當(dāng)波長在250nm時，折射率為1.31。 利用實驗獲得的數(shù)據(jù)，自編軟件進(jìn)行膜系設(shè)計