傾斜反射鏡的驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)與控制研究

1、分類號密級UDC1注學(xué)位論文傾斜反射鏡的驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)與控制研究傾斜反射鏡的驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)與控制研究（題名和副題名）閆智軍閆智軍（作者姓名）指導(dǎo)教師姓名李曉峰李曉峰教授電子科技大學(xué)電子科技大學(xué)成都（職務(wù)、職稱、學(xué)位、單位名稱及地址）申請專業(yè)學(xué)位級別碩士碩士專業(yè)名稱控制理論與控制工程控制理論與控制工程論文提交日期2012.4.30論文答辯日期2012.6.8學(xué)位授予單位和日期電子科技大學(xué)答辯委員會(huì)主席評閱人2012年6月8日注1：注明《國際十進(jìn)分類法

2、UDC》的類號。萬方數(shù)據(jù)摘要I摘要傾斜反射鏡常用于微定位系統(tǒng)，在自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)中可用于實(shí)現(xiàn)波前整體校正，在空間光通信ATP系統(tǒng)中可用于執(zhí)行精跟蹤光束偏轉(zhuǎn)等?；趦A斜反射鏡的微定位系統(tǒng)需要重點(diǎn)關(guān)注小角度偏轉(zhuǎn)條件下合理驅(qū)動(dòng)方式的選擇問題以及怎樣提高控制精度問題。針對以上問題，本文在開展傾斜鏡工作原理分析的基礎(chǔ)上，開展了基于壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的傾斜反射鏡轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)技術(shù)研究以及在閉環(huán)系統(tǒng)中采用PID控制算法提高驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)控制精度技術(shù)的研究。論文主要內(nèi)容

3、包括：1、在分析傾斜反射鏡工作原理的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)了壓電傾斜鏡驅(qū)動(dòng)的總體框架，論述了各個(gè)模塊的設(shè)計(jì)原理，包括輸入控制模塊、電源模塊、高壓功率放大模塊和傳感器檢測回路模塊。輸入控制模塊主要討論了DSP芯片選擇及其外圍電路設(shè)計(jì)、DA轉(zhuǎn)換電路和AD轉(zhuǎn)換電路；電源模塊討論了高壓電源的設(shè)計(jì)和低壓電源的設(shè)計(jì)，重點(diǎn)開展了高壓電源以及高壓功率模塊（包括器件的選擇，電路的設(shè)計(jì)及其電路的保護(hù)措施等）的設(shè)計(jì)；傳感器檢測回路模塊分析了傳感器回路的工作原理和控制原

4、理。2、在完成壓電陶瓷伺服控制模塊和壓電陶瓷執(zhí)行器傾斜平臺(tái)選擇的基礎(chǔ)上，分析了壓電陶瓷控制系統(tǒng)開環(huán)和閉環(huán)工作原理，搭建了壓電陶瓷控制系統(tǒng)模型。論文開展了基于壓電陶瓷控制系統(tǒng)的閉環(huán)控制算法研究，建立了壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的數(shù)學(xué)模型，導(dǎo)出了開環(huán)系統(tǒng)傳遞函數(shù)，采用ZieglerNichols整定法對所建立的模型進(jìn)行了仿真，仿真結(jié)果顯示經(jīng)過校正后系統(tǒng)超調(diào)量小、響應(yīng)時(shí)間快、穩(wěn)定誤差小。3、用Multisim軟件對所設(shè)計(jì)的驅(qū)動(dòng)電路的線性度、線性誤差、靜