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1、本科畢業(yè)設(shè)計本科畢業(yè)設(shè)計(2020屆)屆)用于光子芯片的用于光子芯片的GeSbSe光學(xué)薄膜的制備與性能表征光學(xué)薄膜的制備與性能表征所在學(xué)院專業(yè)班級通信工程學(xué)生姓名學(xué)號指導(dǎo)教師職稱完成日期年月IIAbstract【ABSTRACTABSTRACT】Chalcogenideglassesofferexcellentpropertyofthirddernonlinearwhichmakesit“hero”materialfkeydevices
2、ofallopticalwk.Inthisthesisthematerialpropertiesresearchbackgroundapplicationofchalcogenideglassthinfilmhavebeenreviewed.AlsosomenmalfilmPVDtechnologiesareintroduced.GlassthinfilmsofGeSbSeweredepositedonSiO2substratebyma
3、gronsputtering.Somekeyopticalparameterssuchasrefractiveindex(n)thickness(d)opticalbgap(Eg)weredeterminedusingthetransmissionspectrabasedonSwanepoel’smethod.thoseparametersweredemonstratedbyXPSSpectralellipsometerSurfacep
4、rofilerSpectrophotometerRamanspectroscopyrespectively.TheresultshowsthatopticalthinfilmpreparedbymagronsputteringdepositionhaveexcellentopticalpropertyhighconsistencywithGeSbSetargetglass.Ithasgreatdevelopmentfegroundini
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