半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備信息化管理系統(tǒng)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)

1、專業(yè)學(xué)位碩士學(xué)位論文半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備信息化管理系統(tǒng)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)DesignandImplementationofSemiconductorManufacturingEquipmentInformationManagementSystem學(xué)41417139大連理工大學(xué)DalianUniversityofTechnology大連理工大學(xué)專業(yè)學(xué)位碩士學(xué)位論文摘要隨著半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)的持續(xù)向前發(fā)展和科技水平的不斷提高，該產(chǎn)業(yè)所涉及到的生產(chǎn)設(shè)備的種

2、類和功能也隨著自動化程度的提升而不斷增多，以全自動生產(chǎn)設(shè)備為主體半導(dǎo)體制造工廠的設(shè)備管理水平的高低將直接影響到工廠的未來發(fā)展。隨著工廠中各種生產(chǎn)設(shè)備規(guī)模的日漸龐大，所以設(shè)備涉及的管理系統(tǒng)的運(yùn)作程度以及運(yùn)作結(jié)果的好壞，會直接的對工廠的效益發(fā)生影響。半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備信息化管理系統(tǒng)，能夠降低設(shè)備管理方面的資源消耗，改善設(shè)備利用率，提高工廠在市場經(jīng)濟(jì)下的競爭能力。本文對半導(dǎo)體生產(chǎn)工廠設(shè)備管理信息系統(tǒng)在現(xiàn)今形勢下的狀態(tài)和涉及未來發(fā)展方砸進(jìn)行了綜合的

3、深入分析，研究了當(dāng)前設(shè)備管理部分的相關(guān)問題和設(shè)備信息化管理系統(tǒng)在半導(dǎo)體工廠生產(chǎn)中的重要性與意義，介紹了國內(nèi)外的各種相關(guān)設(shè)備管理系統(tǒng)的發(fā)展歷程以及研究發(fā)展的現(xiàn)實(shí)進(jìn)度，包括設(shè)備在管理方面的主要核心思想、設(shè)備管理系統(tǒng)在當(dāng)前條件下所存在的各種問題，并在未來可能面臨的機(jī)遇及挑戰(zhàn)。根據(jù)某300mm半導(dǎo)體工廠的實(shí)際需求，開發(fā)了半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的信息化管理系統(tǒng)，其核心是在常規(guī)的設(shè)備管理基礎(chǔ)上，通過以太網(wǎng)通訊技術(shù)，可以實(shí)時的顯示設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)，便于工程師監(jiān)

4、控；同時還能把設(shè)備上的運(yùn)行參數(shù)的數(shù)據(jù)，傳送到數(shù)據(jù)庫，再把這些實(shí)時檢測數(shù)據(jù)和設(shè)備故障時產(chǎn)生的事件信息記錄收集起來以方便查閱分析。工程師通過這些數(shù)據(jù)，可以總結(jié)一些經(jīng)驗(yàn)教訓(xùn)，來把握規(guī)律，以求可以盡量在設(shè)備故障發(fā)生前，提前的進(jìn)行相關(guān)的動作，來減少設(shè)備在生產(chǎn)過程中的故障發(fā)生次數(shù)，減少設(shè)備因停機(jī)所造成的時間損耗，從而減少產(chǎn)能損失，降低工廠營運(yùn)虧損。另外，還能使用該系統(tǒng)把設(shè)備維護(hù)所需的備件進(jìn)行管控，提高工作效率。關(guān)鍵詞：設(shè)備管理；實(shí)時監(jiān)控；動態(tài)數(shù)據(jù)收