2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、研究了Metropolis Monte Carlo方法在硅微加工各向異性濕法腐蝕仿真中的應用。針對硅微濕法加工所涉及的關鍵技術和實現(xiàn)方法進行了分析。并在此基礎上開發(fā)了三維腐蝕加工仿真系統(tǒng)。 首先,基于Monte Carlo方法,在臺階流動(step flow)模型上引入了腐蝕概率方程,以一級鄰居原子和二級鄰居原子數量判斷原子類型,確定蒙特卡羅轉移概率。編制程序的模擬結果在不同晶向以及掩模作用下,能與實驗結果一致,解釋了蒙特卡羅法

2、處理復雜晶面的原理和應用過程。 對比分析了其它基于原子模型的仿真方法,以凸角補償工程實例測試了模型的效率和結果精度,闡述了Metropolis Monte Carlo方法的優(yōu)勢和應用特點。更進一步,系統(tǒng)實現(xiàn)了模擬研究腐蝕中出現(xiàn)的(100)面金字塔凸起、(110)面鋸齒狀條紋以及(111)面三角形凹陷等微觀表面形態(tài),并支持微加工中表面粗糙度的計算。 開發(fā)的系統(tǒng)具備描述氧化硅以及氮化硅掩模作用下的各項異性腐蝕過程的能力,實現(xiàn)

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