高效率高功率半導(dǎo)體激光器的工藝研究.pdf

1、高功率半導(dǎo)體激光器作為一種新型的激光光源具有較高的電光轉(zhuǎn)換效率(40％左右)、可靠的工作穩(wěn)定性及緊湊的體積和簡(jiǎn)單的驅(qū)動(dòng)要求，在泵浦固體激光器、工業(yè)加工、醫(yī)療、信息及軍事領(lǐng)域具有極其廣泛的應(yīng)用前景。近年來高功率半導(dǎo)體激光器在國際上得到快速發(fā)展并逐漸得到應(yīng)用，但是國內(nèi)在一段相當(dāng)長(zhǎng)的時(shí)間內(nèi)，半導(dǎo)體激光器的功率始終沒能得到很大的提高，體現(xiàn)在高功率半導(dǎo)體激光器存在著比較嚴(yán)重的發(fā)熱問題，特別是腔面災(zāi)變性損傷(COD)和大電流工作下的焦耳熱，限制了半

2、導(dǎo)體激光器功率的進(jìn)一步提高。因此本文針對(duì)高功率半導(dǎo)體激光器面臨的主要問題出發(fā)在器件效率分析，器件工藝制作(歐姆接觸、表面鈍化、腔面膜、腔長(zhǎng)的優(yōu)化、封裝等)與特性測(cè)試等方面進(jìn)行探索，從中找到降低閾值、提高量子效率及功率轉(zhuǎn)換效率、延長(zhǎng)其壽命和可靠性的措施。主要工作從以下幾點(diǎn)展開： 1．從高功率半導(dǎo)體激光器面臨的主要問題出發(fā)，分析原因，為解決制作工藝提供可靠依據(jù)。 2．從器件理論出發(fā)，為提高半導(dǎo)體激光器效率及功率的改善提供原理