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文檔簡介
1、本文在收集大量微位移工作臺方面資料的基礎(chǔ)上，對國內(nèi)外的研究現(xiàn)狀做了介紹；對常用的微位移系統(tǒng)中機(jī)構(gòu)和驅(qū)動器做了闡述和比較；還對微位移系統(tǒng)的評價標(biāo)準(zhǔn)和柔性鉸鏈的應(yīng)用場合做了較全面的總結(jié)。 第二章中，采用了具有單一方向運(yùn)動而無耦合運(yùn)動的柔性鉸鏈雙平行四桿微位移機(jī)構(gòu)和柔性鉸鏈單平行四桿微位移機(jī)構(gòu)，制定出了一種三自由度（）工作臺的設(shè)計(jì)方案。第三章對常用的柔性鉸鏈進(jìn)行了分類，并對本文設(shè)計(jì)所選用的雙曲余弦柔性鉸鏈進(jìn)行了剛度推導(dǎo)；得出了結(jié)構(gòu)參數(shù)
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