基于并聯(lián)機(jī)構(gòu)的平面3自由度微動(dòng)工作臺的研究.pdf

1、插圖清單圖11并聯(lián)微動(dòng)機(jī)器人。4圖213RRR并聯(lián)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡圖及柔性微動(dòng)工作臺的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。6圖22并聯(lián)3RRR機(jī)構(gòu)的參數(shù)示意圖9圖23柔性鉸鏈轉(zhuǎn)動(dòng)副、移動(dòng)副和球面副lO圖24柔性鉸鏈的參數(shù)示意圖11圖25并聯(lián)3RRR平面柔性微動(dòng)工作臺的一條支鏈11圖3l單個(gè)柔性鉸鏈的偽剛體模型及3RRR柔性機(jī)構(gòu)的偽剛體模型。14圖32并聯(lián)3RRR機(jī)構(gòu)的一條支鏈14圖33礦。的兩個(gè)可能的角16圖34并聯(lián)3RRR機(jī)構(gòu)的參數(shù)示意圖19圖35柔性鉸鏈的運(yùn)動(dòng)參

2、數(shù)示意圖21圖36復(fù)數(shù)的幾何空間表示及閉合回路示意圖22圖37并聯(lián)3RRR平面柔性微動(dòng)工作臺的運(yùn)動(dòng)空間：27圖38在不同的旋轉(zhuǎn)角度下，微動(dòng)工作臺在xY平面內(nèi)的運(yùn)動(dòng)范圍29圖41微動(dòng)工作臺偽剛體模型的受力圖30圖42柔性鉸鏈的幾何結(jié)構(gòu)、受力和變形圖32圖43微元的幾何尺寸及受力矩M單獨(dú)作用圖33圖44柔性鉸鏈偽剛體模型的角度變化示意圖35圖45微動(dòng)工作臺偽剛體模型的角度變化圖39圖51有限元分析的流程圖44圖52運(yùn)動(dòng)工作臺在3個(gè)壓電陶瓷分

3、別驅(qū)動(dòng)時(shí)的應(yīng)力分析圖。46圖53三個(gè)壓電陶瓷同時(shí)驅(qū)動(dòng)最大位移時(shí)的應(yīng)力分析圖47圖54不同壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)下的臺面及運(yùn)動(dòng)傳輸機(jī)構(gòu)的位移圖。48圖55壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器及其幾何尺寸49圖56HPV系列壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源49圖57運(yùn)動(dòng)傳輸機(jī)構(gòu)50圖58測量微動(dòng)工作臺微運(yùn)動(dòng)的電感測頭放置位置示意圖及實(shí)物圖5l圖59壓電陶瓷伸長量的感測5l圖510投影儀測量工作臺結(jié)構(gòu)尺寸52圖511只驅(qū)動(dòng)PZTl或PZT2時(shí)運(yùn)動(dòng)工作臺的位移隨電壓變化圖。54圖512單獨(dú)驅(qū)