基于并聯(lián)機(jī)構(gòu)的平面3自由度微動工作臺的研究.pdf

1、插圖清單圖11并聯(lián)微動機(jī)器人。4圖213RRR并聯(lián)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡圖及柔性微動工作臺的傳動機(jī)構(gòu)。6圖22并聯(lián)3RRR機(jī)構(gòu)的參數(shù)示意圖9圖23柔性鉸鏈轉(zhuǎn)動副、移動副和球面副lO圖24柔性鉸鏈的參數(shù)示意圖11圖25并聯(lián)3RRR平面柔性微動工作臺的一條支鏈11圖3l單個柔性鉸鏈的偽剛體模型及3RRR柔性機(jī)構(gòu)的偽剛體模型。14圖32并聯(lián)3RRR機(jī)構(gòu)的一條支鏈14圖33礦。的兩個可能的角16圖34并聯(lián)3RRR機(jī)構(gòu)的參數(shù)示意圖19圖35柔性鉸鏈的運動參

2、數(shù)示意圖21圖36復(fù)數(shù)的幾何空間表示及閉合回路示意圖22圖37并聯(lián)3RRR平面柔性微動工作臺的運動空間：27圖38在不同的旋轉(zhuǎn)角度下，微動工作臺在xY平面內(nèi)的運動范圍29圖41微動工作臺偽剛體模型的受力圖30圖42柔性鉸鏈的幾何結(jié)構(gòu)、受力和變形圖32圖43微元的幾何尺寸及受力矩M單獨作用圖33圖44柔性鉸鏈偽剛體模型的角度變化示意圖35圖45微動工作臺偽剛體模型的角度變化圖39圖51有限元分析的流程圖44圖52運動工作臺在3個壓電陶瓷分

3、別驅(qū)動時的應(yīng)力分析圖。46圖53三個壓電陶瓷同時驅(qū)動最大位移時的應(yīng)力分析圖47圖54不同壓電陶瓷驅(qū)動下的臺面及運動傳輸機(jī)構(gòu)的位移圖。48圖55壓電陶瓷驅(qū)動器及其幾何尺寸49圖56HPV系列壓電陶瓷驅(qū)動電源49圖57運動傳輸機(jī)構(gòu)50圖58測量微動工作臺微運動的電感測頭放置位置示意圖及實物圖5l圖59壓電陶瓷伸長量的感測5l圖510投影儀測量工作臺結(jié)構(gòu)尺寸52圖511只驅(qū)動PZTl或PZT2時運動工作臺的位移隨電壓變化圖。54圖512單獨驅(qū)