氧化釩熱敏薄膜的制備和性質(zhì)研究.pdf

1、復(fù)旦大學(xué)碩士學(xué)位論文氧化釩熱敏薄膜的制備和性質(zhì)研究姓名：周進(jìn)申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專(zhuān)業(yè)：微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師：李炳宗2000.5.1A b s t r a c tU n c o o l e d I Rm i c r o b o l o m e t e ra n di t s f o c a lp l a n ea r r a y sa r en e wt y p eo f I R d e t e c t o rw i t h w i

2、 d ep o t e n t i a la p p l i c a t i o n si nb o t hm i l i t a r ya n dc i v i l i a na p p a r a t u s ．F a b r i c a t i o no f t h et h e r m a ls e n s i t i v et h i nf i l mr e s i s t o ri s e s s e n t i a l t

3、 o t h e u n c o o l e dI Rm i c r o b o l o m e t e r ．T h ep u r p o s eo ft h i sw o r k i st of m d o u ta m e t h o d w h i c hC a n b eu s e d t of a b r i c a t et h et h i nf i l mr e s i s t o rw i t hg o o d t

4、h e r m a ls e n s i t i v i t ya sw e l la sg o o d c o m p a t i b i l i t yw i t hs i l i c o nI C t e c l m o l o g y ．I n t h i s w o r k t h e f a b r i c a t i o n m e t h o d a n d p r o p e r t i e s o ft h e r

5、m a ls e n s i t i v ev a n a d i u m o x i d et h i nf i l mh a v e b e e ns t u d i e d ．An e w m e t h o d f o rV O 。t h i n f i l m f a b r i c a t i o n i s d e v e l o p e d ．T h e i o n b e a m s p u t t e r i n g

6、t e c h n i q u ew i t ha p r e s s e d t a r g e tf r o mv a n a d i u mp e n t o x i d ep o w d e r i su s e df o r t h i n f i l m d e p o s i t i o n a n d a l o wt e m p e r a t u r e t h e r m a la n n e a l i n g

7、i nN 2 + H 2 a m b i e n t i sa p p l i e d f o rt h i n f i l m m o d i f i c a t i o n ．T h ec o m p o s i t i o n a n ds t r u c t u r eo fv a n a d i u mo x i d et h i nf i l mh a v eb e e nc h a r a c t e r i z e db

8、 yX P S ，A E S ．X R D ，A F M 。T h e s h e e t r e s i s t a n c ea n d i t st e m p e r a t u r e d e p e n d e n c ei nt h er a n g eo f 2 0 - 1 0 0 。C a r em e a S a r e d b y V a n d e r P a u w m e t h o d ．T h e e x

9、 p e r i m e n t a l r e s u l t s s h o w t h a t h o m o g e n e o u s v a n a d i u mp e n t o x i d et h i n f i l mC a nb ed e p o s i t e db yi o nb e a ms p u t t e r i n g ．A f t e ras u b s e q u e n t t h e r m