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文檔簡介
1、本文針對微型生化分析儀的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，設(shè)計(jì)并制作了以硅集成加熱芯片為核心元件的溫度控制系統(tǒng)。 在對系統(tǒng)需求進(jìn)行分析的基礎(chǔ)上，完了成了溫度控制系統(tǒng)硬件和控制方法的總體設(shè)計(jì)。對芯片上電阻的基本排布方式進(jìn)行了分析計(jì)算，并以此為基礎(chǔ)利用PATRAN軟件對其進(jìn)行熱場分析，從而確定了芯片的結(jié)構(gòu)參數(shù)。 采用MEMS技術(shù)制作了兩種不同結(jié)構(gòu)的加熱芯片，并對其進(jìn)行性能測試，結(jié)果表明：該芯片具有溫度均勻性好、響應(yīng)速度快、使用壽命長的特點(diǎn)。
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