FePt系列多層膜樣品的微結(jié)構(gòu)和磁特性研究.pdf

1、磁記錄材料廣泛用于計(jì)算機(jī)和電子設(shè)備中。隨著電子產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，單個(gè)記錄位的面積越來越小，對(duì)磁記錄材料面密度的要求也越來越高，所以磁性顆粒膜（磁性顆粒嵌在非磁性的母體中）已經(jīng)成為人們研究的主題。
　　本論文著重研究了用于下一代磁記錄介質(zhì)的具有優(yōu)良垂直各向異性的FePt薄膜材料。FePt材料的突出特點(diǎn)就是具有強(qiáng)的磁晶各向異性場(chǎng)、高磁能積、高矯頑力等，因此它是一種很有潛力的超高密度磁記錄介質(zhì)材料。
　　通過磁控濺射的方法制備了C/

2、[FePt/C]10/C，Cr/[FePt/C]10/C和Ta/[FePt/Ta]5/Ta多層膜系列樣品，通過退火得到了被C，Ta包裹著的FePt納米顆粒。XRD結(jié)果顯示，隨退火溫度的增加，F(xiàn)ePt的L10相也增加。磁測(cè)量顯示，面內(nèi)矯頑力Hc和矩形比Mr/Ms隨C和Ta的厚度變化而變化。C/[FePt(2.5nm)/C(2.0 nm)]10/C多層膜樣品退火溫度達(dá)650℃時(shí)磁特性最好，矯頑力Hc為3245.1Oe，矩形比0.67。通過S

3、PM測(cè)量得知，當(dāng)C層厚為2.0 nm時(shí)， FePt粒子尺寸小于20 nm。C不僅隔離FePt顆粒，而且通過選擇合適的C層厚度，可以使交換相互作用接近零。
　　通過對(duì)以Cr為襯底層的FePt/C多層膜的SPM測(cè)量得知:Cr可以細(xì)化FePt顆粒，減小粒子尺寸。
　　Ta/[FePt(2.5 nm)/Ta(2.5 nm)]5/Ta多層膜樣品退火溫度達(dá)650℃時(shí)磁特性最好，矯頑力Hc為6828.4Oe，矩形比為0.76559，Ta層