（Ag）-Fe-Ag納米薄膜的制備、微結(jié)構(gòu)和磁特性研究.pdf

1、探索和研究新型磁性材料的物性和微結(jié)構(gòu)之間的關(guān)系一直以來都是磁學(xué)領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)。尤其是近年來，伴隨著器件的小型化，磁性器件單元的尺度越來越小，因此納米尺度受限體系的磁學(xué)性質(zhì)的研究就顯得尤為重要了。這些受限體系的磁組態(tài)往往表現(xiàn)出新穎的物理現(xiàn)象，因而受到國內(nèi)外同行的廣泛關(guān)注。本論文利用對(duì)靶磁控濺射法制備了一系列Ag/Fe/Ag，F(xiàn)e/Ag鐵磁金屬納米薄膜，并利用VSM、XRD和SPM等對(duì)材料的磁特性和微結(jié)構(gòu)進(jìn)行了研究。取得的主要研究結(jié)果如下：

2、 1.在室溫下采用磁控濺射法制備了Ag(x nm)/Fe(35 nm)/Ag (x nm)系列薄膜，覆蓋層和襯底層的厚度x=1，2，3，4，和5 nm。對(duì)樣品的微結(jié)構(gòu)和磁特性進(jìn)行了研究。我們發(fā)現(xiàn)襯底層和覆蓋層厚度對(duì)于樣品的微結(jié)構(gòu)和磁性能影響很大。Ag層厚度為3納米時(shí)矯頑力最大約為135 Oe，粗糙度最小約為0.7。同時(shí)XRD衍射圖譜證明磁晶各向異性對(duì)樣品矯頑力的影響不大，樣品的形狀各向異性起主要作用。 2.在室溫下采用磁

3、控濺射法制備了Ag(3nm)/Fe(xnm)/Ag(3nm)薄膜樣品。x=10，15，25，35和40 nm。發(fā)現(xiàn)Fe磁性層的厚度對(duì)樣品的磁性能和微結(jié)構(gòu)有很大的影響。磁性層厚度為35納米時(shí)，樣品垂直矯頑力較大約為135 Oe。且平均粒徑和磁疇尺寸也比較小。 3.采用對(duì)靶磁控濺射法制備的Ag(3 nm)/Fe(35 nm)/Ag(3nm)納米薄膜。隨后進(jìn)行30分鐘的原位退火，發(fā)現(xiàn)退火溫度對(duì)樣品微結(jié)構(gòu)和磁特性有重要影響。隨退火溫度的