軌道式涂膠顯影設(shè)備工藝原理及控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)研究.pdf

1、隨著國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)的不斷快速發(fā)展,國(guó)內(nèi)傳統(tǒng)的二線芯片廠家及一些軍工研究所也不斷發(fā)展新工藝,擴(kuò)大產(chǎn)能,帶來(lái)了比較大的設(shè)備需求,而在涂膠顯影設(shè)備方面可供選擇有限,一方面國(guó)外如SUSS等的設(shè)備價(jià)格昂貴,售后服務(wù)難到位,而進(jìn)口二手設(shè)備的工藝性、可靠性存在問(wèn)題,電控系統(tǒng)陳舊,控制軟件操作不夠靈活。
　　 本文通過(guò)對(duì)國(guó)際、國(guó)內(nèi)現(xiàn)行的半導(dǎo)體涂膠、顯影工藝過(guò)程的研究,設(shè)計(jì)了一套適合二線市場(chǎng)工藝使用的全自動(dòng)涂膠、顯影設(shè)備控制系統(tǒng),該系統(tǒng)采用集散

2、控制系統(tǒng)思想,運(yùn)用32位的ARM7芯片作為控制系統(tǒng)的管理核心,8位51芯片作為各模塊單元的控制芯片；通過(guò)功能強(qiáng)大的CAN總線實(shí)現(xiàn)對(duì)各分散單元進(jìn)行數(shù)據(jù)交換和控制；采用了方便的圖形人機(jī)交互模式,通過(guò)觸摸屏可以方便地實(shí)時(shí)觀測(cè)設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)和管理設(shè)備的運(yùn)行參數(shù)。該設(shè)備實(shí)現(xiàn)了對(duì)50種工藝配方的管理和5000片加工產(chǎn)品的信息保存,并提供實(shí)時(shí)查閱的操作。通過(guò)調(diào)試驗(yàn)證該系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定,滿足工藝指標(biāo)及設(shè)備功能要求。
　　 半導(dǎo)體工藝復(fù)雜多樣,這就要