2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、環(huán)境污染和能源危機(jī)是現(xiàn)代社會面臨的嚴(yán)峻問題,開發(fā)利用可再生的清潔能源成為全人類急需解決的課題,太陽能電池是一種將太陽能轉(zhuǎn)化為電能的半導(dǎo)體器件。目前產(chǎn)業(yè)化的太陽能電池主要是硅系列太陽能電池,為降低成本和提高轉(zhuǎn)換效率,硅太陽能電池走向薄膜化,而硅氫薄膜在硅薄膜太陽能電池材料中有著重要地位。 本文用射頻磁控濺射法在中純單晶硅基底上制備硅氫薄膜,應(yīng)用激光喇曼(Raman)譜和(或)X射線衍射儀(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、干涉顯

2、微鏡等儀器對薄膜進(jìn)行表征,研究了不同濺射工藝參數(shù)對硅氫薄膜沉積速率與結(jié)構(gòu)的影響,并在此基礎(chǔ)上制備硅氫薄膜太陽能電池。 實驗結(jié)果表明:硅薄膜沉積速率隨射頻濺射功率的提高而增加,兩者間存在線性關(guān)系,在70W-450W范圍,其關(guān)系可用公式v=1.47×104W表示;隨著氫氣分壓的提高,硅氫薄膜沉積速率減小,當(dāng)氫氣分壓從0%增加到75%時,硅薄膜沉積速率從0.096μm/min下降到0.028μm/min:隨著氣壓的增加,沉積速率先增加

3、后減小,當(dāng)濺射氣壓為2.8pa左右時,沉積速率達(dá)到最大值為0.05864μm/min。 在摻入氫氣時,RF濺射法制備出的硅氫薄膜為致密的顆粒膜,大顆粒由尺寸更為細(xì)小的納米級晶粒構(gòu)成,拉曼譜分析結(jié)果表明,該顆粒薄膜為非晶態(tài)結(jié)構(gòu);在100-400W射頻功率范圍內(nèi),晶粒平均直徑隨著濺射功率的提高而增大,在功率為400W時,晶粒直徑達(dá)到104 nm;在同一功率下,隨著氫氣分壓的增加,晶粒平均直徑先增加后減小,在氫氣分壓為50%時達(dá)到最大

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