已閱讀1頁(yè)，還剩62頁(yè)未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀
版權(quán)說(shuō)明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、納米硅薄膜(nc-Si：H)是一個(gè)由納米尺度的Si晶粒組成的薄膜。它的結(jié)構(gòu)和物性既與其它硅材料有密切的聯(lián)系，又顯示出一系列低維半導(dǎo)體的特性。本文著重研究了nc-Si：H薄膜的制造、表征及其所具有的一系列特性。 在本文中詳細(xì)的論述了PECVD法制作納米硅薄膜的原理和過(guò)程，深刻剖析了PECVD儀器各部分的工作原理并進(jìn)行了圖示。實(shí)驗(yàn)選用的氣體為純SiH<,4>氣體，采用PECVD方法，在處理后的硅片上制備了納米硅薄膜，并對(duì)制備的薄膜進(jìn)
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請(qǐng)與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- PECVD法制備氫化納米晶硅薄膜及其晶化特性的研究.pdf
- PECVD法制備氫化非晶硅薄膜及其性能研究.pdf
- PECVD法制備本征-摻硼納米非晶硅薄膜及其性能研究.pdf
- 低溫工藝PECVD法制備多晶硅薄膜研究.pdf
- 氫化非晶-納米晶硅薄膜的PECVD法制備與性能研究.pdf
- 硅薄膜的PECVD制備及其結(jié)構(gòu)研究.pdf
- PECVD法制備氫化非晶硅薄膜及其金屬誘導(dǎo)晶化研究.pdf
- PECVD法制備P型非晶硅薄膜及多晶硅薄膜.pdf
- PECVD法制備摻磷非晶硅薄膜及其結(jié)構(gòu)和性能的研究.pdf
- 硅系薄膜的PECVD法制備、微結(jié)構(gòu)與性能研究.pdf
- PECVD法制備多晶硅薄膜太陽(yáng)能電池研究.pdf
- PECVD法制備P型微晶硅氧薄膜的性能研究.pdf
- VHF-PECVD法制備非晶硅鍺薄膜材料的研究.pdf
- 廉價(jià)襯底上PECVD法制備非晶硅薄膜的工藝研究.pdf
- pecvd法制備摻磷非晶硅薄膜及其結(jié)構(gòu)和性能的研究(1)
- PECVD法制備包埋硅量子點(diǎn)的氮化硅薄膜及其發(fā)光特性研究.pdf
- PECVD法制備a-SiCx-H薄膜及其光電性能研究.pdf
- PECVD法制備非晶硅鍺薄膜及其太陽(yáng)能電池應(yīng)用研究.pdf
- APCVD法制備硅化鈦納米線、薄膜及其性能的研究.pdf
- VHF-PECVD法制備nip型硅薄膜太陽(yáng)電池的研究.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論