基于氧化物薄膜的低閾值電壓壓敏電阻.pdf

1、壓敏電阻器是一種在一定溫度條件下其電導(dǎo)值隨外加電壓的增加而急劇增大的元件，目前用得最多的是氧化鋅壓敏電阻器。氧化鋅是一種寬禁帶半導(dǎo)體材料，具有紫外發(fā)光、透明導(dǎo)電、熱電轉(zhuǎn)換、氣敏、光電導(dǎo)等性能，在許多領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用。氧化鋅作為過壓保護(hù)的壓敏電阻，在上世紀(jì)七十年代已經(jīng)應(yīng)用在電器設(shè)備的高壓防護(hù)方面，如抑制電力系統(tǒng)防雷電過電壓和操作過電壓等領(lǐng)域。之后隨著電子計(jì)算機(jī)、通訊技術(shù)、超大規(guī)模集成電路等方面的發(fā)展，對(duì)低壓壓敏變阻器的需求不斷上升。

2、 本文介紹了ZnO薄膜的性質(zhì)和應(yīng)用，以及壓敏變阻器的研究狀況、發(fā)展趨勢(shì)及低壓化方法。利用磁控濺射法制備Al-ZnO-Al、Al-CuO-Al三明治結(jié)構(gòu)為基本單元的薄膜變阻器。通過調(diào)節(jié)真空室的氣體流量和濺射時(shí)間，制備了性能優(yōu)越的變阻器。利用X射線衍射儀等對(duì)制備的薄膜進(jìn)行分析，研究其薄膜厚度、晶體結(jié)構(gòu)和晶粒大小等性質(zhì)，并研究了其I-V曲線特征。 研究結(jié)果表明，通過利用磁控濺射法制備的以Al-ZnO-Al三明治結(jié)構(gòu)為基本單元的疊