強(qiáng)激光對(duì)砷化鎵材料損傷機(jī)理的研究.pdf

1、山東大學(xué)碩士學(xué)位論文強(qiáng)激光對(duì)砷化鎵材料損傷機(jī)理的研究姓名：李永富申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專(zhuān)業(yè)：光學(xué)工程指導(dǎo)教師：王青圃20070410山東大學(xué)碩士學(xué)位論文中文摘要激光與物質(zhì)相互作用一直是令人關(guān)注的研究領(lǐng)域。近幾十年來(lái)，激光技術(shù)迅猛發(fā)展，現(xiàn)在已經(jīng)滲透進(jìn)自然科學(xué)的各個(gè)領(lǐng)域，加快了科學(xué)研究的步伐。而在科學(xué)研究過(guò)程中發(fā)現(xiàn)的各種新現(xiàn)象新內(nèi)容，又極大地促進(jìn)了激光技術(shù)的發(fā)展。激光與物質(zhì)的相互作用不僅在自然科學(xué)領(lǐng)域受到人們的關(guān)注，而且在實(shí)際中也得到了廣泛應(yīng)用

2、，如激光加工、激光核聚變、激光薄膜沉積以及激光武器等等。砷化鎵材料在很多方面都有著優(yōu)越的特性，如：直接躍遷型能帶，有較高的光電轉(zhuǎn)換效率；電子遷移率高，能夠制成高速器件；帶隙較大，GaAs器件抗輻射能力強(qiáng)；具有轉(zhuǎn)移電子效應(yīng)，能夠制成耿氏器件等新型功能器件等等，這些都使砷化鎵材料得到了廣泛的應(yīng)用，砷化鎵成為硅之后最重要的半導(dǎo)體材料。因此，需要對(duì)砷化鎵進(jìn)行深入的研究，而激光對(duì)砷化鎵材料損傷的研究是其中的一個(gè)重要方面。本文利用常見(jiàn)的532nm連

3、續(xù)激光、1064rim脈沖激光對(duì)砷化鎵材料進(jìn)行作用，利用比較新穎的光的衍射和干涉方式對(duì)材料的損傷過(guò)程進(jìn)行探測(cè)，測(cè)得材料在連續(xù)激光和脈沖激光下的損傷閩值，通過(guò)利用電子探針對(duì)材料表面損傷形貌的觀察和組分分析，定性地討論了砷化鎵的損傷形式。在實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上，利用很常見(jiàn)的熱傳導(dǎo)方程對(duì)損傷閾值進(jìn)行了解析計(jì)算。最后，對(duì)飛秒超短脈沖激光作用下，砷化鎵材料的損傷機(jī)理、損傷形態(tài)以及相應(yīng)的理論解釋進(jìn)行了簡(jiǎn)要地介紹。具體內(nèi)容以及創(chuàng)新點(diǎn)如下：1首次提出利用夫瑯和