溶膠-凝膠法制備Si基LaNiO3導(dǎo)電薄膜的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、LaNiO3具有優(yōu)良的導(dǎo)電性能，且與大多數(shù)鐵電材料相似的鈣鈦礦結(jié)構(gòu)，被認(rèn)為是鐵電薄膜理想的電極材料，在Si基上制備出質(zhì)量良好的LaNiO3薄膜對(duì)于制備硅基鐵電器件具有重要意義。
　　本文以La(NO3)3·nH2O、Ni(CH3COO)2·4H2O為原料，乙二醇甲醚為溶劑配制出了穩(wěn)定的LaNiO3溶膠，并采用浸漬提拉制備了LaNiO3導(dǎo)電薄膜。研究了溶液濃度、金屬離子比例、熱處理工藝對(duì)薄膜性能的影響。結(jié)果表明采用金屬離子比為1∶1

2、的LaNiO3溶膠，在400℃下預(yù)處理30min，隨后在750℃的純氧環(huán)境中熱處理1h，重復(fù)提拉兩次可得到表面質(zhì)量良好、電阻率為8.7×10-4Ω·cm的LaNiO3薄膜。通過在LaNiO3溶膠中添加適量的檸檬酸有效改善了溶膠的成膜性，同時(shí)采用上述工藝在2英寸硅基片上制備出了表面光滑且導(dǎo)電性能良好的2英寸LaNiO3薄膜。
　　進(jìn)一步探索了快速熱處理制備LaNiO3薄膜的方法，采用濃度為0.1 mo1/L LaNiO3溶膠，通過浸

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