溶膠-凝膠法制備ITO薄膜及其微細圖形的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、氧化銦摻錫透明導(dǎo)電薄膜具有優(yōu)異的光電特性，引起了人們的廣泛關(guān)注。本文是以溶膠－凝膠法制備ITO透明導(dǎo)電薄膜及其微細圖形為目的，分別探討了醇鈉法與無機鹽法制備的ITO薄膜性能的優(yōu)略，并成功的制備出了ITO薄膜的微細圖形。研究發(fā)現(xiàn)： 1.無機鹽法制備的ITO薄膜電阻率為7.20*10-3Ω?cm，可見光平均透過率為88﹪，優(yōu)于醇鈉法。 2.對無機鹽法制備的薄膜進行分析測試：在摻雜過程中 Sn4+離子代替了In3+離子的位置而

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