精密二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)實(shí)時(shí)標(biāo)定實(shí)驗(yàn)與分析.pdf

1、隨著高精密位移傳感技術(shù)及高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的廣泛應(yīng)用,人們對(duì)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)位移標(biāo)定提出了越來(lái)越高的要求。目前國(guó)內(nèi)對(duì)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的標(biāo)定方法大多是在平臺(tái)處于靜止?fàn)顟B(tài)下完成的。但是，當(dāng)對(duì)某些特定系統(tǒng)如氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行標(biāo)定時(shí)，由于平臺(tái)靜止時(shí)存在振動(dòng)，會(huì)對(duì)標(biāo)定造成影響。本文提出一種運(yùn)動(dòng)狀態(tài)下進(jìn)行標(biāo)定的方法，能夠?qū)崿F(xiàn)平臺(tái)位移系統(tǒng)與標(biāo)定位移系統(tǒng)的實(shí)時(shí)同步采樣。該方法可以減少因靜止?fàn)顟B(tài)下的振動(dòng)問題所產(chǎn)生的標(biāo)定誤差，實(shí)現(xiàn)對(duì)高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)位移的標(biāo)定。
　　基于藍(lán)光

2、激光干涉位移傳感器，氣浮導(dǎo)軌組成的高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，Agilent5529A雙頻激光干涉儀以及E1735A數(shù)據(jù)采集模塊，建立了一套完整的AQB標(biāo)定系統(tǒng)。通過對(duì)平臺(tái)位移傳感器細(xì)分系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)試，得到了產(chǎn)生良好AQB信號(hào)的條件。通過對(duì)AQB信號(hào)調(diào)理電路的設(shè)計(jì)，包括跟隨、差分、放大、濾波、以及反相偏置等電路，獲得了良好的AQB信號(hào)，并將調(diào)試好的電路制成了AQB信號(hào)調(diào)理電路板，通過了AQB信號(hào)調(diào)理測(cè)試。在完成了標(biāo)定系統(tǒng)的硬件搭建以后，為實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)狀態(tài)

3、下的AQB標(biāo)定，進(jìn)行了實(shí)時(shí)標(biāo)定軟件的開發(fā)，編譯生成了可執(zhí)行程序，并通過了實(shí)時(shí)采樣測(cè)試。
　　進(jìn)行實(shí)時(shí)標(biāo)定時(shí)，精密平臺(tái)首先在直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)下勻速運(yùn)動(dòng)。運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的藍(lán)光激光位移傳感器產(chǎn)生AQB模擬信號(hào)，經(jīng)調(diào)理電路板與細(xì)分器處理后輸出AQB數(shù)字信號(hào)給E1735A數(shù)據(jù)采集模塊。E1735A模塊Mudulo計(jì)數(shù)器對(duì)AQB數(shù)字信號(hào)進(jìn)行計(jì)數(shù)，達(dá)到預(yù)設(shè)采樣間隔時(shí)輸出一個(gè)瞬態(tài)脈沖。該瞬態(tài)脈沖即時(shí)將來(lái)自標(biāo)定系統(tǒng)的瞬態(tài)位移數(shù)據(jù)存入硬件緩存區(qū)，軟件系統(tǒng)隨后及