PMMA的反應離子深刻蝕及側壁鈍化研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、有機玻璃(PMMA)高分子聚合物是MEMS和MOEMS制備工藝中的重要材料,它的刻蝕效果直接影響到元器件的質量.研究PMMA刻蝕有著實際的應用意義.該論文的目的是通過對PMMA進行深度反應離子刻蝕及其側壁鈍化效果的研究,獲得高深寬比,側壁光滑陡直,底面平整光滑刻蝕效果的最佳工藝條件.在實驗的基礎上,該文分析了PMMA氧化分解的機理,研究了不同的反應離子刻蝕條件(包括刻蝕氣體成分及其成分比、刻蝕功率、刻蝕氣壓、氣體流量、刻蝕溫度)下所獲得

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