超精密定位理論及關(guān)鍵技術(shù)的研究.pdf

1、精密定位技術(shù)是超精密加工、集成電路器件制造、電子產(chǎn)品組裝線、生物工程及納米技術(shù)等領(lǐng)域的關(guān)鍵性基礎(chǔ)性技術(shù),其技術(shù)涉及到激光理論、電子技術(shù)、精密機械、傳感與測量、信息處理、計算機、伺服驅(qū)動、智能控制等多門學(xué)科,具有廣泛的應(yīng)用前景。
　　 本文提出了利用激光莫爾信號進行高精度位置檢測與控制的技術(shù)方法,應(yīng)用物理光學(xué)和傅立葉光學(xué)理論,分析了雙級光柵衍射時的相對位移與激光莫爾信號強度的關(guān)系,建立了基于激光莫爾信號的精密位移測量數(shù)學(xué)模型。應(yīng)用

2、數(shù)值分析方法對建立的數(shù)學(xué)模型進行了計算機仿真。為提高位置檢測信號的靈敏度及定位精度,提出了差動式和修正式兩種精密定位方法,利用研究的兩種定位方法,建立了精密定位的復(fù)合控制系統(tǒng),其中粗定位采用修正莫爾技術(shù),精定位采用差動莫爾技術(shù)。通過粗定位和精定位相結(jié)合的兩段式復(fù)合定位,可保證在較大的信號捕捉范圍內(nèi),實現(xiàn)高速高精度定位,有效解決了定位精度、定位速度與信號捕捉范圍三者之間的矛盾。針對精密定位系統(tǒng)存在非線性,精確控制模型難以建立的缺陷,將不基