光學(xué)表面亞表層損傷表征技術(shù)研究.pdf

1、光學(xué)元件亞表層損傷嚴(yán)重影響了高功率激光器和大型光學(xué)系統(tǒng)抗激光損傷閾值、成像質(zhì)量、鍍膜質(zhì)量及系統(tǒng)的長期穩(wěn)定性。亞表層損傷現(xiàn)有的檢測方法大多數(shù)存在破壞試件、檢測時(shí)間長和精度低等現(xiàn)象。因此準(zhǔn)確測量亞表層損傷深度對優(yōu)化加工工藝及獲得高品質(zhì)表面質(zhì)量的光學(xué)元件是非常重要的。本文將激光掃描共聚焦顯微技術(shù)引入到光學(xué)表面亞表層損傷檢測中，主要研究內(nèi)容有：
　　 1)在構(gòu)建的激光掃描共聚焦顯微鏡一維掃描平臺上，進(jìn)行了探測針孔的選擇實(shí)驗(yàn)和亞表層損傷信

2、號提取實(shí)驗(yàn)；實(shí)驗(yàn)研究了激光掃描共聚焦顯微鏡二維掃描裝置的穩(wěn)定性；利用該裝置對采用不同加工工藝的光學(xué)試件進(jìn)行亞表層損傷測量，實(shí)驗(yàn)測量得到的亞表層損傷趨勢和理論分析結(jié)果一致；
　　 2)針對亞表面損傷層的特點(diǎn)，構(gòu)建了用于亞表層損傷測量的激光掃描共聚焦顯微鏡三維掃描裝置；在二維掃描軟件的基礎(chǔ)上，編寫了三維掃描控制軟件；利用三維裝置對拋光過的光學(xué)表面進(jìn)行亞表層損傷測量，通過信號分析與圖像處理方法，最后給出了亞表層損傷微觀圖；