亞表面損傷測量技術(shù)中全內(nèi)反射粗定位系統(tǒng)的研究.pdf

1、光學(xué)元件的亞表面損傷嚴(yán)重影響著光學(xué)系統(tǒng)的抗激光損傷閾值和大型光學(xué)系統(tǒng)的成像及鍍膜質(zhì)量、系統(tǒng)的長期穩(wěn)定性，很大程度上制約了能源、軍事、航天等高新技術(shù)科研領(lǐng)域的發(fā)展。因此，對光學(xué)元件亞表面損傷的控制成為相關(guān)領(lǐng)域一項至關(guān)重要的技術(shù)。傳統(tǒng)光學(xué)對亞表面損傷問題的關(guān)注極少，隨著入射光源能量的不斷提升，尤其在高功率激光領(lǐng)域，亞表面裂紋的控制才能越來越受人們的關(guān)注。
　　本文研究了基于光的全內(nèi)反射原理獲得光學(xué)元件亞表面損傷信息的一種測量方法。首先

2、分析了照明光源的偏振狀態(tài)對亞表面損傷點(diǎn)的偶極子散射特性，研究了全內(nèi)反射角的變化對偶極子散射的影響，討論了亞表面裂紋情況下，裂紋和S偏振光之間夾角與相對散射功率之間的關(guān)系，通過Matlab軟件的仿真模擬出了參量之間的關(guān)系。其次通過原理的分析和公式推導(dǎo)得到全內(nèi)反射粗定位系統(tǒng)關(guān)鍵部件的設(shè)計:一是對照明系統(tǒng)光路的設(shè)計;二是對顯微成像系統(tǒng)中渥拉斯頓棱鏡、諾馬斯基棱鏡的設(shè)計，確定了渥拉斯頓棱鏡的楔角、厚度等參數(shù)關(guān)系，模擬仿真了諾馬斯基棱鏡光軸傾角、