微傳感器微弱電壓信號讀出電路芯片設計.pdf

1、微傳感器是采用微米級的微電子和微機械加工制造技術制作而成的新型傳感器，它具有體積小、重量輕、功能多、可靠性高以及易于實現(xiàn)智能化等特點，已被廣泛的應用在航空、航天、國防軍事、工業(yè)過程控制以及醫(yī)療保健等領域。微傳感器中市場份額占有量最多同時也是使用比較廣泛的是微加速度傳感器和微機械陀螺儀。微加速度傳感器的作用是測量加速度，是一種基于MEMS技術的微型慣性儀表微加速度傳感器。微機械陀螺儀是一種用來測量物體運動的角度或角速度的傳感器，它是采用與

2、集成電路工藝相似的MEMS工藝制造的。這些高精度的微傳感器系統(tǒng)對后續(xù)讀出電路要求很高，因為后續(xù)讀出電路的噪聲性能主要決定了微傳感器系統(tǒng)能探測到的最小信號幅度，因此很有必要研究設計一種高精度的微傳感器后續(xù)讀出電路。
　　 本論文依據(jù)常見的微電容式傳感器的相關參數(shù)指標設計了高精度的信號讀出電路芯片。首先提出了整體讀出電路結構框圖，然后采用新加坡特許Chartered0.35μm CMOS工藝設計了讀出電路結構中的單端運算放大器、時序