非制冷紅外傳感器的讀出電路研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、非制冷紅外傳感器是紅外熱成像領域中的研究熱點，在商業(yè)、軍事、民事等領域有著廣泛的應用。其中，二極管型非制冷紅外傳感器是一種以PN結溫度敏感單元，易與標準CMOS工藝兼容的紅外傳感器。紅外傳感器經(jīng)標準CMOS工藝流片完成先期控制電路部分之后，還需要經(jīng)過干法刻蝕和TMAH濕法腐蝕來完成結構制作，實現(xiàn)二極管型像元懸空結構的釋放。
　　 本文在研究二極管型紅外傳感器制作工藝的同時，設計了一種小面積像元串聯(lián)的結構。通過改變二極管型紅外傳感

2、器的象元結構，在相等面積內(nèi)串聯(lián)多個小P+/N阱單元，提高了傳感器感受外界紅外輻射的靈敏度。利用仿真和實驗證明了該結構的設計能夠很好地提高紅外傳感器的輸出信號強度和靈敏度，有效地解決了紅外傳感器輸出信號非常微弱的問題，滿足了實際測試的需要。同時設計了一種利用MOS晶體管進一步放大輸出信號的電路。由于紅外傳感器的輸出信號電壓較小，必須設計讀出電路來讀取信號。本文針對紅外傳感器的信號特點，設計了一種包括恒流源、放大、濾波等模塊的讀出電路。利用

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